データベースに戻る
📀 出典のデータベース: 半導体 vs 公共下水:排水処理技術の工程別・物質別 徹底比較
処理工程・比較項目
09. 高度処理
🗓 更新日: 9/24/2025
公開中半導体工場排水の処理技術・特徴
イオン交換樹脂によるフッ素や重金属等のイオンの高度除去、PFAS除去、TMAHの濃縮。活性炭吸着によるTOCやPFASの除去。高度酸化処理(AOP)によるTMAH等の難分解性有機物やPFASの分解。逆浸透膜(RO)処理によるイオン類やPFAS等の分離・回収。これらは処理水を再利用するための超純水製造に不可欠な技術群です。