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📀 出典のデータベース: 半導体 vs 公共下水:排水処理技術の工程別・物質別 徹底比較
処理工程・比較項目
09. 高度処理
🗓 更新日: 9/24/2025
公開中項目
半導体工場排水の処理技術・特徴
イオン交換樹脂によるフッ素や重金属等のイオンの高度除去、PFAS除去、TMAHの濃縮。活性炭吸着によるTOCやPFASの除去。高度酸化処理(AOP)によるTMAH等の難分解性有機物やPFASの分解。逆浸透膜(RO)処理によるイオン類やPFAS等の分離・回収。これらは処理水を再利用するための超純水製造に不可欠な技術群です。
公共下水(自治体)の処理技術・特徴
浄水処理や下水処理の三次処理として、イオン交換(硬度成分、硝酸性窒素、PFAS除去)、活性炭吸着(カビ臭、PFAS除去)、AOP(微量汚染物質、COD除去)、RO処理(海水淡水化、下水再利用、PFAS除去)などが導入されます。
主要な対象物質・論点
フッ素、重金属、TOC、TMAH、PFAS(半導体)、硬度成分、硝酸性窒素、カビ臭、微量汚染物質、COD、PFAS(公共)
課題・トレードオフ
PFAS除去という共通課題に対し、各技術が活用されます。AOPは分離・除去ではなく分解・破壊する点で他と異なります。処理コストの高さ、使用済み樹脂や活性炭の再生・処理、RO膜の濃縮水処理などが共通の課題です。
出典URL
https://www.erca.go.jp/suishinhi/seika/db/pdf/end_houkoku/3-1904.pdf https://www.nedo.go.jp/content/100979055.pdf https://www.env.go.jp/content/000185566.pdf
すべての出典情報
半導体工場の排水中フッ素を凝集沈殿処理後に吸着剤で処理
半導体工場でフッ酸由来のフッ素を排水処理する必要があり、カルシウムによる凝集沈殿処理後に、吸着剤による高度処理を実施しました。 常に排水が出続けるため複数塔での ...
半導体製造工場の廃水処理 - Hitachihyoron
したイオン交躁処理法の処増フローシートの一例を図5にホ. す。廃水はまず清惟炭上さ‡に入I)ここで有機物を除去した後,. 塩酸. 原水. 原水槽. 30. 脱水機. ∩>. 0. 2. (こぎ) ...
水処理技術の紹介
電子・半導体工場の排水処理システム. 電子 ... 当社は効率的な排水処理システムをご提案します。 実績:排水量 150m3/日~2400m3/日 排水処理フロー例(フッ酸系排水).
半導体工場で進む節水技術
図2 半導体工場における水処理システムの全体像(例). 3. 排水回収システム. 3.1 従来の排水回収システムにおける課題. 従来の排水回収システムを図3に示し ...
フッ素の基礎知識とフッ素含有水の処理方法
フッ素を含んだ排水の処理技術には、凝集沈殿法(カルシウム)、水酸化物共沈法(アルミニウム)、吸着法(READ-F)、およびこれらの組み合わせ方式があります。 その他、各処理 ...
パイロット事業事例集
... 処理後に、さらにオゾンおよび過酸化水素を用いた促進酸化. 処理(AOP)を行ったところ、TOC は約 44%除去されたが、生物影響は処理前より増加した。AOP. により難分解性 ...
CSR REPORT 2019
最近では高効率な生物処理を可能とするグラニュール技術を利用した、工場から排出される窒素含有排水の高速処理シス. テムや、都市下水などの低濃度有機物含有排水処理 ...
総量規制水域における窒素除去管理のための 硝化抑制運転が ...
・高度処理法の導入により水質環境が改善された. ・高度処理法導入により、処理エネルギー(曝気、循環など)が増加. ・海域に流入する栄養塩類が減少し ...
生物も物理・化学も使う「高度処理法」の要点を整理【排水 ...
「嫌気無酸素好気法」は、「A2O(Anaerobic - Anoxic - Oxic)法」とも呼ばれ、窒素とリンの除去を目的とした排水処理方法です。反応タンクが嫌気槽と無酸素槽と好気槽 ...
高度処理ナレッジ集
... リン除去のAO法、窒素・リン同時除去のA2O法へと改造してきた。 (攪拌・循環). ・標準法の施設を利用し、嫌気槽、無酸素槽の撹拌には、曝気用エアーを使用した ...
検索結果 | 環境省
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環境省の公式サイト(env.go.jp)にアクセスし、サイト内検索機能で「PFAS 対策」と入力して検索します。,検索結果の中から「PFASに関する今後の対応の方向性」や関連する専門家会議の資料が掲載されているページにアクセスします。,公開されている議事録や報告書を精読し、現在検討されているPFASの処理技術(活性炭、イオン交換樹脂、RO膜、AOPなど)の評価や、今後の規制強化の可能性に関する情報を収集します。,次に、同じくサイト内検索で「下水道 資源循環」または「リン回収」と入力して検索します。,検索結果から「循環のみち下水道」に関連する政策文書や、下水汚泥からのリン回収技術の実用化に関する報告書を探し、国の支援策や普及に向けた課題に関する情報を収集します。
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活性炭事業を通じた持続的成長に向けた取り組み
簡便性、そして高いPFAS除去効率という点で、他の技術. に対する優位性が示されています。 ただし、新炭の製造においては大量のCO2が発生する. デメリットもあります。
CSR REPORT 2018
本事業では、東芝四日市工場で半導体のエッチング剤として. 使用されたフッ酸廃液から当社のエコクリスタにより回収した. 高純度な人工蛍石を、旭硝子千葉工場が有価物 ...
水道における PFAS の処理技術等に関する資料集
いて、PFOS や PFOA など数種類の PFAS の最大除去率が 90%以上であったことを. 示しつつも、その除去率は粉末活性炭の投与量、粒子径、接触時間等の要因 ...
新技術について
*(単なる「除去率」ではなく、)原水中のPFASの種類や時間経過による「除去性. 能(除去率など)や処理水のPFAS濃度」の変化は? *「粒状活性炭やイオン交換樹脂」の交換時期は ...
⾼PFAS含有排⽔の 処理・分解・無害化・計測 技術の開発
① 短鎖PFAS処理の課題 (膜処理). 「膜処理」による除去率. コストダウンに向けた研究が必要. 膜処理であれば、C4でも高い除去率を達成できる. 0.0. 0.2.
環境研究総合推進費 終了研究成果報告書
#### 環境研究総合推進費 終了研究成果報告書の概要
本報告書は、残留性有機汚染物質(POPs)とその候補物質(ポリ塩化ナフタレン(PCNs)、有機フッ素化合物(PFASs)、ヘキサクロロブタジエン(HCBD)、ヘキサブロモシクロドデカン(HBCD)、ジコホル)が最終処分場から浸出する実態の把握、適切な分析法の開発、長期的な溶出予測手法の構築を目的とした研究成果をまとめたものです。研究は、地方独立行政法人 大阪府立環境農林水産総合研究所を研究代表機関とし、公益財団法人 ひょうご環境創造協会、公立大学法人 大阪市立大学、国立研究開発法人 国立環境研究所が分担機関として参画し、令和元年度から令和3年度にかけて実施されました。
#### 分析法開発と実態把握
本研究では、河川水と比較して有機物濃度、塩分濃度、pHが高い最終処分場の浸出水に対応できるPOPs等の分析法を構築しました。
* **PCNsの分析法**: ダイオキシン類分析の公定法(JIS K 0312)の改良により、ダイオキシン類とPCNs(全75異性体)の同時測定が可能な高分解能ガスクロマトグラフ質量分析計(GC-HRMS)を用いた汎用性の高い分析法を確立しました。
* **PFASsの分析法**: 高有機物濃度の浸出水でもPFOA・PFOSの定量下限値5 ng/Lを達成できるよう、メタノール洗浄の追加や固相抽出カートリッジ(Oasis WAX for PFAS analysisなど)の比較検討を行い、液体クロマトグラフ質量分析計(LC-MS/MS)による分析法を確立しました。特に短鎖PFASsの回収率向上に課題があるものの、活性炭カラムによるクリーンアップで改善が見られました。前駆物質であるテロマー類(FT-OHs)やスルホンアミド類(FOSA、FOSE)、GenXの分析法も確立し、一部試料からの検出を確認しています。
* **HCBD、ジコホル、HBCDの分析法**: HCBDについてはパージアンドトラップ-ガスクロマトグラフ質量分析(P&T-GC/MS)法による1,4-ジオキサン、VOCとの同時分析法を、ジコホルについてはGCライナーにガラスウールを使用しないGC-MS/MS法を、HBCDについてはジクロロメタンによる液液抽出とLC-MS/MSを組み合わせた分析法をそれぞれ構築しました。
#### POPsの濃度実態と浸出水処理過程での除去
全国の産業廃棄物および一般廃棄物管理型埋立処分場19埋立区画からの浸出水においてPOPs等の濃度実態が調査されました。
* **PCNsの濃度実態**: DiCNs-OcCN(2~8塩素化PCNs)濃度は8.0〜12,000 pg/Lの範囲で検出され、MoCNs-PeCNs(1~5塩素化PCNs)が主に検出されました。産業廃棄物処分場浸出水の方が一般廃棄物処分場よりも約10倍高濃度で、製品由来の異性体の割合が高い傾向が見られました。PCNs濃度と濁度、TOC、DOC、COD、TNの間には正の相関が認められましたが、埋立開始年代との明確な関係は見られませんでした。木くずを含有する処分場で濃度が高い傾向が見られました。
* **PFASsの濃度実態**: PFCAsおよびPFSAsの濃度は、産業廃棄物処分場で30~27000 ng/L、一般廃棄物処分場で3.0~280 ng/Lと、産業廃棄物処分場の方が高濃度でした。日本の浸出水中のPFOA、PFOS、PFHxS濃度は海外の処分場と比較して一桁低い値であり、これは埋立前に行われる焼却処理が高温下で多くのPFASsを分解しているためと推察されています。埋立開始年代とPFOA、PFOS、PFHxS濃度の変遷には、規制による製造・使用の変化が反映されている可能性が示唆されました。
* **浸出水処理施設における除去**:
* **PCNs**: 凝集沈殿処理でDiCNs、TrCNs、TeCNs、PeCNsの平均除去率はそれぞれ47%、67%、87%、80%と効果的に除去されました。活性炭吸着処理では高い除去率が得られ、PCNsはMDL以下またはMDL近傍まで減少しました。
* **PFASs**: 凝集処理と生物処理(活性汚泥処理)での除去率はPFASsの種類によって-10%~87%と幅があり、除去効率は低い傾向でした。一方、活性炭吸着処理では、PFHxA、PFHpA、PFOA、PFNA、PFBS、PFOSが90%以上の高い除去率で効果的に除去されました。RO膜処理では短鎖(C4-C9)PFCAsとPFSAsの平均除去率は99%以上でした。しかし、これらの処理で捕捉されたPFASsは、分解されなければ廃棄物として最終処分場に戻る可能性があるため、分解できる処理工程の実証が不可欠と指摘されています。
#### 溶出挙動の解明と長期予測シミュレーション
* **PCNsの溶出挙動と吸着特性**: 国内の焼却残渣34種類における全PCNs含有量は48~1,800,000 pg/gと幅広く、低塩素化物が主流でした。ダイオキシン対策の加熱脱塩素化処理がPCNsのリスク低減にも有効であることが確認されました。拡散チューブ試験により、焼却飛灰中のPCNsの有効拡散係数は最大でも2.3×10⁻¹³~2.9×10⁻¹³ m²/sと推定され、溶出挙動は拡散よりも移流の影響が大きいことが示唆されました。バッチ試験ではフミン酸がPCNsの溶出促進因子の一つであることを確認し、カラム実験にフミン酸溶液を溶媒として採用した結果、フミン酸の存在が高塩素化物の溶出を促進することが示されました。PCNsの累積溶出率は非常に低く(含有量の0.004~0.007%程度)、長期間にわたる溶出継続の可能性が示唆されました。
* **PFASsの吸着特性と挙動に及ぼす微生物反応**: 文献調査から、PFASsの排出挙動は固相の有機炭素含有量に加え、炭素鎖長に大きく影響を受けると推測されました。PCNsの固相(カオリン、真砂土、赤土)に対する分配係数(log Kd)は、塩素数が増加するにつれて高くなる傾向が見られ、有機炭素含有量が高いほど分配係数が高くなりました。微生物分解によるPFOAやPFOSの生成経路も整理されており、最終処分場条件下での微生物反応がPFASsの挙動に影響を及ぼす可能性が指摘されています。
* **数値シミュレーションによる長期挙動予測**: PFASsについては、1次元移流分散解析により、炭素鎖数による挙動の違いが示されました。短鎖PFCAs(PFBA(C4), PFHxS(C6))は比較的早く浸出水に排出される一方、長鎖PFCAs(PFDA(C10))は処分場内に留まる可能性が示唆されました。PCNsについては、カラム溶出試験結果を用いた覆蓋型一般廃棄物最終処分場のシミュレーションにより、保護土や中間覆土の吸着性能が将来的なPCNs排出に影響することが分かりました。特に、塩素数の小さいMoCNsやDiCNsは、処分場廃止後も長期にわたり系外へ排出される可能性があることが示唆されました。
#### 環境政策等への貢献
本研究成果は、環境省の令和3年度POPs廃棄物の検定方法等策定業務において、PFOA、PFOS、PFHxSの分析法構築に関する知見が分析法ガイドラインの作成に活用されました。また、PFOA、PFOS含有廃棄物の処理に関する技術的留意事項の策定においても貢献が見込まれています。これにより、最終処分場の長期的な適正管理に資する分析法や挙動予測に関する知見が提供されました。
水分野でのAI活用 運転履歴データを価値に変えた事例
近年,新たな進展が見られるAI(Artificial Intelligence:. 人工知能)技術は,水処理システムへの適用にも有効と期. 待されており,本稿ではその取り組みについて紹介する。 2.
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