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📀 出典のデータベース: 半導体 vs 公共下水:排水処理技術の工程別・物質別 徹底比較
処理工程・比較項目
08. 生物処理
🗓 更新日: 9/24/2025
公開中半導体工場排水の処理技術・特徴
洗浄工程で使われるIPAやTMAHといった有機物を微生物の働きで分解します。好気性の活性汚泥法が一般的ですが、難分解性のTMAHには嫌気性処理も有効で、発生したメタンガスをエネルギー源として回収できます。また、膜分離活性汚泥法(MBR)も用いられ、高品質な処理水を得て工場内で再利用されることが多いです。
公共下水(自治体)の処理技術・特徴
生活排水などを浄化する下水処理で最も中核的な技術です。「標準活性汚泥法」で有機物を分解し、さらに窒素やリンも除去する「高度処理」として「嫌気無酸素好気法(A2O法)」などが導入されています。MBRも設置面積を小さくできるため導入が進んでいます。
主要な対象物質・論点
IPA、TMAH(半導体)、BOD、窒素、リン(公共)
課題・トレードオフ
微生物で有機物を除去する原理は共通ですが、対象物質が異なります。半導体は特定の難分解性有機物、公共は生活排水由来の多様な有機物と窒素・リンが対象です。安定した微生物群の管理や、MBRにおける膜の目詰まり対策が共通課題です。
出典URL
https://www.erca.go.jp/suishinhi/seika/db/pdf/end_houkoku/3-1904.pdf https://www.mlit.go.jp/common/001033454.pdf
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