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QUA FEDI®. Fractional Electrodeionization Process. Learn More. QUA EnviQ®. Submerged Ultrafiltration Membranes. Learn More ...

#### FEDI® GIGA Fractional Electrodeionization Pilot Study: Silica and Boron Removal このパイロットスタディは、FEDI® GIGAスタックの性能を評価し、特に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業における高純度水生成と、シリカやホウ素のような弱電離イオンの除去能力に焦点を当てて実施されました。 #### 主要な成果と性能 FEDI® GIGAスタックは、高純度水の生成において顕著な性能を発揮しました。5〜6 µS/cmのFCE負荷の給水に対して、安定して約18 MΩ・cmの製品水抵抗率を達成しています。これは、半導体製造で求められる厳しい水質基準を満たすものです。 特に、給水中のシリカを95%以上、ホウ素を98〜99%以上除去する高い効率を示しました。給水中のホウ素濃度が50〜100 ppbの範囲であったにもかかわらず、製品水中のホウ素濃度は1 ppb未満にまで低減され、定量限界未満となりました。これらの結果は、半導体およびマイクロエレクトロニクス産業の水質要件を十分に満たすことを実証しています。 #### ホウ素除去の詳細データ 以下の表は、FEDI® GIGAスタックによるホウ素除去の結果を示しています。 | スタック稼働時間 | 給水中のホウ素 (ppb) | 製品水中のホウ素 (ppb) | 除去効率 (%) | |---|---|---|---| | 552 | 60 | < 1 | > 98.33 | | 771 | 60 | < 1 | > 98.33 | | 773 | 50 | < 1 | > 98.00 | | 780 | 40 | < 1 | > 97.50 | | 782 | 40 | < 1 | > 97.50 | | 791 | 55 | < 1 | > 98.18 | | 800 | 62 | < 1 | > 98.39 | | 802 | 61 | < 1 | > 98.36 | | 809 | 74 | < 1 | > 98.65 | | 818 | 80 | < 1 | > 98.75 | | 827 | 88 | < 1 | > 98.86 | | 836 | 82 | < 1 | > 98.78 | | 906 | 79 | < 1 | > 98.73 | | 915 | 78 | < 1 | > 98.72 | | 924 | 78 | < 1 | > 98.72 | | 933 | 98 | < 1 | > 98.98 | | 942 | 100 | < 1 | > 99.00 | | 1036 | 95 | < 1 | > 98.95 | | 1044 | 88 | < 1 | > 98.86 | | 1052 | 99 | < 1 | > 98.99 | | 1060 | 108 | < 1 | > 99.07 | | 1068 | 101 | < 1 | > 99.01 | 表4. FEDI® GIGAスタックのホウ素除去結果 このデータは、長時間の稼働においても製品水中のホウ素濃度が常に1 ppb未満に維持され、非常に高い除去効率を安定して達成していることを裏付けています。 #### 技術提供元 このFEDI® GIGA技術は、Aquatech社が提供するソリューションの一部です。 [An Aquatech Company]()

#### 半導体製造向けソリューションの概要 Aquatechは、半導体ファブが直面する最大の課題に対して、適合性と安全性に重点を置いた新しい方法とソリューションを統合して提供しています。水、廃棄物、エネルギーの消費を最小限に抑えながら、信頼性の高い生産を保証し、お客様が競争力を高め、リスクを効果的に管理できるよう支援することを目指しています。 #### コア技術：QUA FEDI® 同社は、`QUA FEDI® (Fractional Electrodeionization Process)`という独自の技術を提供しています。この技術は、高度な水処理プロセスの一環として半導体製造において重要な役割を果たすと推測されます。 より詳細な情報については、以下のページで確認できます。 [Learn More](https://www.aquatech.com/technologies/qua-fedi-fractional-electrodeionization-process) #### 先進的な水リサイクルへの取り組み Aquatechは、先進的な水リサイクルに焦点を当てたイベントも開催しています。2025年10月21日から23日には、第1回Masterclass for Advanced Water Recyclingを開催し、高純度水再生、先進的な水リサイクル、ゼロ液体排出（ZLD）におけるソリューションの探求と業界専門家間の知見交換の場を提供します。このイベントでは、最先端技術の紹介や業界リーダーとの交流を通じて、参加者がグローバル市場で競争優位性を得ることを目的としています。 #### アリゾナ州の半導体製造施設での実績とサポート体制 Aquatechは、アリゾナ州のマイクロプロセッサ製造施設に対し、標準的なサービスを超える揺るぎないコミットメントを示しています。24時間体制の運用・保守サポートを提供することで、安全性と環境規制遵守を確保するだけでなく、コスト管理にも貢献しています。さらに、継続的な改善プロジェクトに対して、専門的な水処理プロセスとエンジニアリングサポートを提供し、顧客の安定稼働と効率向上を支えています。