高度酸化処理 (AOP)

分類

物理化学処理

半導体分野での概要・特徴

生物処理では分解しにくいTMAHなどの有機物を、オゾン、紫外線、過酸化水素、触媒などを組み合わせて強力な酸化力で分解する技術です。近年、PFASを根本的に分解・無害化する破壊処理技術として注目されており、プラズマや超音波を利用したAOPの実証事業も進められています。純水レベルに近い希釈洗浄排水に微量に含まれるTOC成分を分解し、純水原水として回収・再利用するケースもあります。

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[3]. hitachi-hps.co.jp

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公共自治体分野での概要・特徴

下水処理の三次処理や浄水処理において、医薬品や農薬といった微量汚染物質や、従来の処理では分解しきれないCOD成分を除去する目的で導入されます。活性炭などで濃縮されたPFAS含有水の最終的な分解処理技術としての活用が期待されています。

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課題・共通点・相違点

強力な酸化力で難分解性物質を分解する点は共通です。特にPFASに対しては、活性炭吸着やRO膜などが物理的に「分離・除去」する技術であるのに対し、AOPはPFASを根本的に「分解・破壊」する技術として位置づけられる点が大きな特徴であり相違点です。半導体分野では比較的高濃度の特定有機物の分解、公共分野では微量の多様な化学物質の無害化に用いられることが多いです。処理コストが高いことが共通の課題です。

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[2]. env.go.jp

[3]. nedo.go.jp

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CMP排水の処理装置 | 特許情報

要約：. 【要約】【課題】 研磨粒子や研磨屑などのSS及びH 2 O 2 と、更には有機成分をも含むCMP排水を効率的に処理することができ、長期連続運転が可能なCMP排水の処理装置 ...

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水処理技術の紹介

電子・半導体工場の排水処理システム. 電子 ... 当社は効率的な排水処理システムをご提案します。 実績：排水量 150m3/日～2400m3/日 排水処理フロー例（フッ酸系排水）.

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C10G-0193 半導体製造プロセスにおける評価事例と関連機器

水銀フリーのエキシマランプを酸化部に使用. し、難分解性有機物を確実に検出し再現性よく高感度に超純水・. 純水の高感度TOC測定を実現できます。 純水用オンラインTOC ...

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電子エ業向けの排水回収システム事例の紹介

フッ素,窒素等の無機薬品排水や,難分解性の有機排水が. 排出される等の特性がある ... による有機物の分解との相乗効果により,有機物の分子間. 結合を切断し有機酸 ...

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1 PFAS に関する今後の対応の方向性 令和５年７月・PFAS に対する総合戦略検討専門家会議 PFAS（ペルフルオロアルキル化合物及びポリフルオロアルキル化合物の総称、参考資 料...

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⾼PFAS含有排⽔の 処理・分解・無害化・計測 技術の開発

① 短鎖PFAS処理の課題 （膜処理）. 「膜処理」による除去率. コストダウンに向けた研究が必要. 膜処理であれば、C4でも高い除去率を達成できる. 0.0. 0.2.

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