📜 要約
主題と目的
本調査の主題は「半導体工場排水技術と公共自治体(下水処理)の排水処理技術を工程ベースで対比・整理する」ことです。特にフッ素イオン(F−)、PFAS、TMAH といった半導体特有の難処理物質を軸に、両者の排水特性・処理工程・技術選択・運用上のトレードオフを明確にし、実務での優先対応(設計・運転・モニタリング・責任分担)まで示すことを目的とします。最終的に、現場での技術選定や自治体との協調設計に直結する具体的な工程フローと推奨アクションを提示します。
回答
要約(比較表)
項目 | 半導体工場排水(特徴) | 公共下水(下水処理場へ入る水) |
---|---|---|
流量・変動 | 小量・高負荷・工程依存(点放流) | 大量・希釈あり・継続流 |
主要汚濁物質 | フッ素(F−)、TMAH、溶媒、PFAS、CMPスラリー等 | 有機性負荷、窒素・リン、低濃度PFAS等(混合) |
基本戦略 | 源分離→濃縮→多段高度処理(膜/吸着/IX/AOP等) | 活性汚泥等で量処理→必要時に局所的高度処理を追加 |
主な課題 | 濃縮廃棄物の処分、PFAS/TMAHの安定除去・分解 | 微量難分解物の蓄積、財政負担と残渣処理ルール |
参考 | フッ素回収事例・TMAH研究・PFAS指針(例: NEDO, J‑STAGE, 環境省) env.go.jp jst.go.jp nedo.go.jp | 高度処理ナレッジ・B‑DASH実証等(国土交通省) mlit.go.jp |
7工程フレーム(両者共通だが優先度と手法が異なる)
- 受入・分流(源管理)
- 前処理(中和・凝集・粗固液分離)
- 一次化学/物理処理(凝集沈殿、吸着、イオン交換)
- 生物処理(活性汚泥等、または代替プロセス)
- 高度処理(膜、GAC/IX、AOP等)
- 回収・濃縮物処理(資源回収、廃棄物処理)
- 放流/再利用・運用最適化(監視、AI/IoT)
工程別の具体的ポイント(半導体 vs 公共)
- 受入・分流(源管理)
- 半導体:工程ごとの排水分流は最も費用対効果が高く、フッ素系・TMAH系・CMP系などを分離して専用処理ラインへ回す。工程単位での代表採水とオンライン指標(pH、導電率、TOC)で自動弁切替を推奨。kinki-shasej.org
- 公共:事業系負荷の把握と「事業所前処理」義務付けやターゲット監視を強化する方が効率的。mlit.go.jp
- 前処理(中和・凝集)
- 半導体:フッ素は凝集(カルシウムやアルミ添加)で大部分を固相化し、残留を吸着や膜で詰めるのが実務的。凝集→沈殿で大半を落とし、その後の polishing を計画する。nextry.jp
- 公共:沈砂・初沈が主で、量処理安定化を最優先にする。
- 一次処理(選択的回収)
- 半導体:イオン交換でTMAHや特定イオンを濃縮し、吸着や晶析でフッ酸を回収(例:晶析によるフッ酸回収事例)。回収物の市場化(買い手確保)が経済性を左右する。organo.co.jp
- 公共:特殊物質が疑われる事業所については前処理要求を行う運用が現実的。
- 生物処理
- 半導体:多くの場合、生物処理は効果が限定的(無機イオンや難分解有機)。TMAH は低濃度で生物毒性が高く、下水処理場での挙動が課題となるため、濃縮後の非生物的処理(熱分解等)を選択するケースが多い。また嫌気分解でメタン回収する研究もある。nii.ac.jp
- 公共:活性汚泥(A2O含む)は中核で、窒素・リン管理が主目的。mlit.go.jp
- 高度処理(膜・吸着・AOP)
- PFAS 対策は吸着(GAC/PAC)→イオン交換→RO→必要ならAOPや熱処理の組合せが現実的。短鎖PFASの対策ではRO の有効性が高いが、濃縮廃液の処理が不可欠。nedo.go.jp
- 静岡市等の実証で PFAS を最大96% 超低減した実績があるため、現場パイロットでの確認が有効。shizuoka.lg.jp
- 回収・濃縮物処理(廃棄物管理)
- 半導体:RO濃縮液や吸着剤の廃棄処理・再生が運用コストの大きなファクター。処分方法(焼却の温度管理、安定化処理等)を処理設計段階で決めることが必須。nedo.go.jp
- 公共:汚泥の消化ガス回収や焼却灰からのリン回収といった資源化を検討することで長期的費用対効果を改善可能。mlit.go.jp
- 放流/再利用・運用最適化
- 両者共通で高感度分析と継続モニタリングが重要。PFAS 等は測定法・検出限界の統一が政策課題であり、事業者と自治体の共同モニタリング体制が望ましい。env.go.jp
- AI/IoT による膜ファウリング予測や洗浄最適化、薬注制御はコスト低減と安定運転に有効で、B‑DASH 等の実証事例を参考に段階導入が可能。mlit.go.jphitachi-hps.co.jp
推奨される実務的処理列(半導体向け)
- 工程別分流・貯留(高負荷は隔離)
- 中和・凝集でフッ素の大部分を除去(固相化)
- イオン交換でTMAH等を濃縮(必要なら再生処理の回収設計)
- CMPはUF/セラミック膜で固液分離・シリカ回収(透過水は再利用)https://www.ngk.co.jp/product/membrane/cefilt_01/
- PFAS 対策は GAC/IX→RO のカスケード、必要時に AOP/熱分解で残渣処理(分解は高コスト)nedo.go.jp
- 濃縮廃棄物の最終処分ルート(焼却条件、安定化)を契約で確保
推奨される実務的処理列(公共向け)
- スクリーン・初沈で粗粒を除去
- 活性汚泥(A2O等)で BOD/N/P を主に処理
- ホットスポット(産業排水)把握→産業側へ前処理要求
- 必要時に GAC/IX/膜 を局所導入、PFAS 濃縮廃棄の受け皿整備
- 汚泥は嫌気性消化でエネルギー回収、焼却灰はリン回収検討mlit.go.jp
短期(実行可能)アクションプラン(優先順)
- 現況測定:工程別の代表サンプルで TOC、F(全フッ素)、個別PFAS、TMAH、導電率、pH を測定(高感度手法で定量)env.go.jp
- 源分離マップ作成:工程別フローと負荷分布を作り、分流可能箇所を特定。
- 小規模パイロット:GAC±IX±RO の組合せで PFAS 除去率と濃縮廃棄物量を検証(静岡市等の実証を参照)shizuoka.lg.jp
- 廃棄物ルート確保:吸着材・RO濃縮液の最終処分(焼却・安定化)の技術・費用を確定。
- 運転最適化:膜の洗浄頻度・吸着材交換をAIで最適化するロードマップを立てる。hitachihyoron.com
(処理カスケード概念図)
※ 上図は実務的な優先順を示す概念。現場条件により枝分かれや逆流が発生するため、実設計は現況データでの最終決定が必要です。
結果と結論
主要な結果(要点)
- 性質の異なる二つの系(半導体=少量高負荷・工程依存、公共=大量希薄・連続処理)を同一フレーム(受入→前処理→一次→生物→高度→回収→放流)で整理すると、処理戦略の違いが明確になります。半導体は「源で分離→濃縮→多段高度処理」が合理的、自治体は「量処理の安定化+必要時の局所高度処理」が実務的に合理的です。mlit.go.jpenv.go.jp
- PFAS・TMAH といった物質は、単一技術で完全解決できないため「多段カスケード(吸着→膜→分解)」+「濃縮残渣の最終処分ルート確保」+「分担ルール(誰が残渣を持つか)」を同時に設計する必要があることが確認されました。nedo.go.jp
結論(実務上の優先行動)
- 最優先:工程別の源分離と代表サンプリングを直ちに実施し、TMAH、総フッ素、主要PFAS の定量データを確保する。設計はこのデータなしに進めないこと。env.go.jp
- 技術方針:半導体側は「凝集→吸着/IX→RO(必要時AOP)」という多段処理を基本線とし、回収物の処分・再利用ルートを同時に確保する。公共側はホットスポット特定→事業者に前処理義務を課すスキーム整備と、局所的高度処理の財政的負担ルールを整備する必要がある。nedo.go.jpmlit.go.jp
- モニタリングと制度設計:PFAS等の長期蓄積物質は測定法・基準設定・残渣処分責任を含む制度設計が処理戦略の成功を決める。事業者・自治体双方で共同モニタリングと情報共有プラットフォームを作るべきである。env.go.jp
- 実証を必須化:設計を進める前に小規模なパイロット(GAC/IX/RO 等)で除去率・残渣量・ランニングコスト・再生可否を検証すること。静岡市や B‑DASH の実証成果を参照し、実運転データでのフィードバックを得る。shizuoka.lg.jpmlit.go.jp
最後に、当レポートで示した工程ベースのマトリクスに基づき、次のどちらを優先して深掘りするかを教えてください(いずれも具体提案を作成します):
- A) 対象工場の想定排水組成(流量・濃度)をもとにした工程別処理設計+概算CAPEX/OPEX とパイロット計画
- B) PFAS 種別(短鎖/長鎖)ごとの処理適合性マトリクスと濃縮廃棄物の処理オプション評価
ご希望をお知らせいただければ、出典とパイロット設計要件を含む具体的な提案書を作成します。
コード実行
import React from 'react';
const App = () => {
return (
<div className="min-h-screen bg-gray-50 p-6">
<div className="max-w-7xl mx-auto">
{/* ヘッダー */}
<div className="bg-white rounded-lg shadow-lg p-6 mb-8">
<h1 className="text-3xl font-bold text-gray-800 mb-4">
半導体産業と公共自治体の排水処理技術 - 工程ベース比較分析
</h1>
<p className="text-gray-600">
調査結果に基づく包括的な技術比較と今後の展望
</p>
</div>
{/* 概要セクション */}
<div className="grid grid-cols-1 lg:grid-cols-2 gap-6 mb-8">
<div className="bg-blue-50 rounded-lg p-6">
<h2 className="text-xl font-bold text-blue-800 mb-4">半導体産業の排水処理</h2>
<div className="space-y-3">
<div className="flex items-center">
<div className="w-3 h-3 bg-blue-500 rounded-full mr-3"></div>
<span className="text-gray-700">フッ素系排水処理(凝集沈殿法)</span>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-3 h-3 bg-blue-500 rounded-full mr-3"></div>
<span className="text-gray-700">CMP排水処理(セラミック膜分離)</span>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-3 h-3 bg-blue-500 rounded-full mr-3"></div>
<span className="text-gray-700">有機系排水処理(生物処理・AOP)</span>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-3 h-3 bg-blue-500 rounded-full mr-3"></div>
<span className="text-gray-700">高度水回収・再利用システム</span>
</div>
</div>
</div>
<div className="bg-green-50 rounded-lg p-6">
<h2 className="text-xl font-bold text-green-800 mb-4">公共自治体の排水処理</h2>
<div className="space-y-3">
<div className="flex items-center">
<div className="w-3 h-3 bg-green-500 rounded-full mr-3"></div>
<span className="text-gray-700">標準活性汚泥法(基本処理)</span>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-3 h-3 bg-green-500 rounded-full mr-3"></div>
<span className="text-gray-700">高度処理(A2O法・リン窒素除去)</span>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-3 h-3 bg-green-500 rounded-full mr-3"></div>
<span className="text-gray-700">汚泥処理・資源化(消化ガス発電)</span>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-3 h-3 bg-green-500 rounded-full mr-3"></div>
<span className="text-gray-700">膜分離活性汚泥法(MBR)</span>
</div>
</div>
</div>
</div>
{/* 主要技術比較表 */}
<div className="bg-white rounded-lg shadow-lg p-6 mb-8">
<h2 className="text-2xl font-bold text-gray-800 mb-6">主要処理技術の比較</h2>
<div className="overflow-x-auto">
<table className="w-full border-collapse">
<thead>
<tr className="bg-gray-100">
<th className="border border-gray-300 px-4 py-3 text-left font-semibold">処理技術</th>
<th className="border border-gray-300 px-4 py-3 text-left font-semibold">半導体分野での特徴</th>
<th className="border border-gray-300 px-4 py-3 text-left font-semibold">公共分野での特徴</th>
<th className="border border-gray-300 px-4 py-3 text-left font-semibold">主な課題</th>
</tr>
</thead>
<tbody>
<tr className="hover:bg-gray-50">
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3 font-medium">凝集沈殿処理</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
高濃度フッ素除去<br/>
カルシウム法・水酸化物共沈法<br/>
除去率: 95%以上
</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
リン除去(化学的処理)<br/>
PAC・硫酸アルミニウム使用<br/>
SS・濁質除去
</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
薬品コスト<br/>
汚泥発生量<br/>
運転管理の複雑さ
</td>
</tr>
<tr className="hover:bg-gray-50">
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3 font-medium">膜分離</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
CMP排水処理<br/>
セラミック膜(高耐久性)<br/>
水回収率: 90%以上
</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
MBR(膜分離活性汚泥法)<br/>
高品質処理水<br/>
省スペース化
</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
膜ファウリング<br/>
初期投資コスト<br/>
膜交換費用
</td>
</tr>
<tr className="hover:bg-gray-50">
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3 font-medium">生物処理</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
TMAH等有機物分解<br/>
担体活性汚泥法<br/>
嫌気性処理併用
</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
標準活性汚泥法<br/>
A2O法(リン・窒素除去)<br/>
大容量処理対応
</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
難分解性物質<br/>
温度・pH管理<br/>
微生物活性維持
</td>
</tr>
<tr className="hover:bg-gray-50">
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3 font-medium">高度酸化処理</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
難分解性有機物分解<br/>
オゾン・UV・Fenton法<br/>
PFAS対策技術
</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
新興汚染物質対策<br/>
色度・臭気除去<br/>
消毒副生成物対策
</td>
<td className="border border-gray-300 px-4 py-3">
高エネルギー消費<br/>
運転コスト<br/>
副生成物生成
</td>
</tr>
</tbody>
</table>
</div>
</div>
{/* 処理フロー比較 */}
<div className="grid grid-cols-1 lg:grid-cols-2 gap-6 mb-8">
<div className="bg-white rounded-lg shadow-lg p-6">
<h3 className="text-xl font-bold text-blue-800 mb-4">半導体工場の処理フロー</h3>
<div className="space-y-4">
<div className="flex items-center">
<div className="w-8 h-8 bg-blue-500 text-white rounded-full flex items-center justify-center text-sm font-bold mr-3">1</div>
<div>
<div className="font-semibold">前処理・分別</div>
<div className="text-sm text-gray-600">フッ素系・CMP系・有機系に分別</div>
</div>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-8 h-8 bg-blue-500 text-white rounded-full flex items-center justify-center text-sm font-bold mr-3">2</div>
<div>
<div className="font-semibold">個別処理</div>
<div className="text-sm text-gray-600">各排水特性に応じた専用処理</div>
</div>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-8 h-8 bg-blue-500 text-white rounded-full flex items-center justify-center text-sm font-bold mr-3">3</div>
<div>
<div className="font-semibold">高度処理</div>
<div className="text-sm text-gray-600">RO膜・イオン交換・AOP</div>
</div>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-8 h-8 bg-blue-500 text-white rounded-full flex items-center justify-center text-sm font-bold mr-3">4</div>
<div>
<div className="font-semibold">水回収・再利用</div>
<div className="text-sm text-gray-600">超純水製造・プロセス水循環</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
<div className="bg-white rounded-lg shadow-lg p-6">
<h3 className="text-xl font-bold text-green-800 mb-4">下水処理場の処理フロー</h3>
<div className="space-y-4">
<div className="flex items-center">
<div className="w-8 h-8 bg-green-500 text-white rounded-full flex items-center justify-center text-sm font-bold mr-3">1</div>
<div>
<div className="font-semibold">前処理</div>
<div className="text-sm text-gray-600">スクリーニング・沈砂・初沈</div>
</div>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-8 h-8 bg-green-500 text-white rounded-full flex items-center justify-center text-sm font-bold mr-3">2</div>
<div>
<div className="font-semibold">生物処理</div>
<div className="text-sm text-gray-600">活性汚泥法・A2O法</div>
</div>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-8 h-8 bg-green-500 text-white rounded-full flex items-center justify-center text-sm font-bold mr-3">3</div>
<div>
<div className="font-semibold">高度処理</div>
<div className="text-sm text-gray-600">砂ろ過・オゾン・MBR</div>
</div>
</div>
<div className="flex items-center">
<div className="w-8 h-8 bg-green-500 text-white rounded-full flex items-center justify-center text-sm font-bold mr-3">4</div>
<div>
<div className="font-semibold">汚泥処理・資源化</div>
<div className="text-sm text-gray-600">消化ガス発電・リン回収</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
{/* PFAS対策の共通課題 */}
<div className="bg-white rounded-lg shadow-lg p-6 mb-8">
<h2 className="text-2xl font-bold text-gray-800 mb-6">PFAS対策:両分野共通の新興課題</h2>
<div className="bg-yellow-50 border-l-4 border-yellow-400 p-4 mb-6">
<h3 className="text-lg font-semibold text-yellow-800 mb-2">環境省の政策動向</h3>
<p className="text-yellow-700">
「PFASに関する今後の対応の方向性」(令和5年7月)により、PFOS・PFOA以外のPFASについても段階的な規制強化が予定されています。
</p>
</div>
<div className="grid grid-cols-1 md:grid-cols-3 gap-6">
<div className="bg-red-50 rounded-lg p-4">
<h4 className="font-bold text-red-800 mb-3">対象物質の拡大</h4>
<ul className="text-sm text-red-700 space-y-1">
<li>• PFHxS(既にPOPs条約対象)</li>
<li>• 長鎖PFCA(PFNA等)</li>
<li>• 数十物質の候補リスト</li>
</ul>
</div>
<div className="bg-orange-50 rounded-lg p-4">
<h4 className="font-bold text-orange-800 mb-3">処理技術の評価</h4>
<ul className="text-sm text-orange-700 space-y-1">
<li>• 活性炭吸着</li>
<li>• イオン交換樹脂</li>
<li>• RO膜分離</li>
<li>• 高度酸化処理(AOP)</li>
</ul>
</div>
<div className="bg-purple-50 rounded-lg p-4">
<h4 className="font-bold text-purple-800 mb-3">今後の課題</h4>
<ul className="text-sm text-purple-700 space-y-1">
<li>• 分析法の標準化</li>
<li>• 処理性能の実証</li>
<li>• 経済性の評価</li>
<li>• 規制値の設定</li>
</ul>
</div>
</div>
</div>
{/* 技術の相互応用可能性 */}
<div className="bg-white rounded-lg shadow-lg p-6 mb-8">
<h2 className="text-2xl font-bold text-gray-800 mb-6">技術の相互応用可能性と今後の展望</h2>
<div className="grid grid-cols-1 lg:grid-cols-2 gap-6">
<div className="space-y-4">
<h3 className="text-lg font-semibold text-blue-600">半導体技術の公共分野への応用</h3>
<div className="bg-blue-50 rounded-lg p-4">
<h4 className="font-semibold mb-2">セラミック膜技術</h4>
<p className="text-sm text-gray-700 mb-2">
半導体CMP排水処理で実証された高耐久性セラミック膜は、下水処理のMBRシステムでも有効活用可能
</p>
<div className="text-xs text-blue-600">
参考:<a href="https://www.ngk.co.jp/product/cm-cefilt-app01.html" target="_blank" rel="noopener noreferrer" className="underline hover:text-blue-800">日本ガイシ セラミック膜技術</a>
</div>
</div>
<div className="bg-blue-50 rounded-lg p-4">
<h4 className="font-semibold mb-2">高度酸化処理(AOP)</h4>
<p className="text-sm text-gray-700 mb-2">
難分解性有機物処理技術は、下水処理場での新興汚染物質対策に直接応用可能
</p>
</div>
</div>
<div className="space-y-4">
<h3 className="text-lg font-semibold text-green-600">公共技術の半導体分野への応用</h3>
<div className="bg-green-50 rounded-lg p-4">
<h4 className="font-semibold mb-2">生物処理の最適化</h4>
<p className="text-sm text-gray-700 mb-2">
大規模下水処理で培われた微生物管理技術は、半導体有機系排水の生物処理効率向上に貢献
</p>
</div>
<div className="bg-green-50 rounded-lg p-4">
<h4 className="font-semibold mb-2">エネルギー回収システム</h4>
<p className="text-sm text-gray-700 mb-2">
消化ガス発電技術は、半導体工場の汚泥処理でのエネルギー自給率向上に活用可能
</p>
</div>
</div>
</div>
</div>
{/* DX・AI活用の展望 */}
<div className="bg-white rounded-lg shadow-lg p-6 mb-8">
<h2 className="text-2xl font-bold text-gray-800 mb-6">デジタル技術活用による運転最適化</h2>
<div className="grid grid-cols-1 md:grid-cols-2 gap-6">
<div className="bg-gradient-to-br from-blue-50 to-purple-50 rounded-lg p-6">
<h3 className="text-lg font-semibold text-purple-800 mb-4">AI・センサー技術の活用</h3>
<ul className="space-y-2 text-sm text-gray-700">
<li className="flex items-start">
<div className="w-2 h-2 bg-purple-500 rounded-full mt-2 mr-3 flex-shrink-0"></div>
<span>リアルタイム水質監視システム</span>
</li>
<li className="flex items-start">
<div className="w-2 h-2 bg-purple-500 rounded-full mt-2 mr-3 flex-shrink-0"></div>
<span>予測保全による設備稼働率向上</span>
</li>
<li className="flex items-start">
<div className="w-2 h-2 bg-purple-500 rounded-full mt-2 mr-3 flex-shrink-0"></div>
<span>機械学習による運転パラメータ最適化</span>
</li>
<li className="flex items-start">
<div className="w-2 h-2 bg-purple-500 rounded-full mt-2 mr-3 flex-shrink-0"></div>
<span>エネルギー消費量の最小化制御</span>
</li>
</ul>
</div>
<div className="bg-gradient-to-br from-green-50 to-blue-50 rounded-lg p-6">
<h3 className="text-lg font-semibold text-blue-800 mb-4">期待される効果</h3>
<ul className="space-y-2 text-sm text-gray-700">
<li className="flex items-start">
<div className="w-2 h-2 bg-blue-500 rounded-full mt-2 mr-3 flex-shrink-0"></div>
<span>運転コスト20-30%削減</span>
</li>
<li className="flex items-start">
<div className="w-2 h-2 bg-blue-500 rounded-full mt-2 mr-3 flex-shrink-0"></div>
<span>処理水質の安定化</span>
</li>
<li className="flex items-start">
<div className="w-2 h-2 bg-blue-500 rounded-full mt-2 mr-3 flex-shrink-0"></div>
<span>設備故障の事前予測</span>
</li>
<li className="flex items-start">
<div className="w-2 h-2 bg-blue-500 rounded-full mt-2 mr-3 flex-shrink-0"></div>
<span>人的リソースの効率化</span>
</li>
</ul>
</div>
</div>
</div>
{/* 資源回収技術の比較 */}
<div className="bg-white rounded-lg shadow-lg p-6 mb-8">
<h2 className="text-2xl font-bold text-gray-800 mb-6">資源回収技術の経済性比較</h2>
<div className="grid grid-cols-1 lg:grid-cols-2 gap-6">
<div className="bg-blue-50 rounded-lg p-6">
<h3 className="text-lg font-semibold text-blue-800 mb-4">半導体分野:フッ素回収</h3>
<div className="space-y-3">
<div className="flex justify-between items-center">
<span className="text-sm font-medium">回収技術</span>
<span className="text-sm text-gray-600">エコクリスタ法(人工蛍石製造)</span>
</div>
<div className="flex justify-between items-center">
<span className="text-sm font-medium">回収率</span>
<span className="text-sm text-gray-600">95%以上</span>
</div>
<div className="flex justify-between items-center">
<span className="text-sm font-medium">経済性</span>
<span className="text-sm text-gray-600">高濃度排水で採算性確保</span>
</div>
<div className="flex justify-between items-center">
<span className="text-sm font-medium">市場価値</span>
<span className="text-sm text-gray-600">人工蛍石として販売可能</span>
</div>
</div>
</div>
<div className="bg-green-50 rounded-lg p-6">
<h3 className="text-lg font-semibold text-green-800 mb-4">公共分野:リン回収</h3>
<div className="space-y-3">
<div className="flex justify-between items-center">
<span className="text-sm font-medium">回収技術</span>
<span className="text-sm text-gray-600">MAP法(リン酸マグネシウムアンモニウム)</span>
</div>
<div className="flex justify-between items-center">
<span className="text-sm font-medium">回収率</span>
<span className="text-sm text-gray-600">80-90%</span>
</div>
<div className="flex justify-between items-center">
<span className="text-sm font-medium">経済性</span>
<span className="text-sm text-gray-600">大規模処理場で事業化進展</span>
</div>
<div className="flex justify-between items-center">
<span className="text-sm font-medium">市場価値</span>
<span className="text-sm text-gray-600">肥料として農業利用</span>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
{/* 主要参考資料 */}
<div className="bg-white rounded-lg shadow-lg p-6">
<h2 className="text-2xl font-bold text-gray-800 mb-6">主要参考資料・出典</h2>
<div className="grid grid-cols-1 md:grid-cols-2 gap-6">
<div>
<h3 className="text-lg font-semibold text-blue-600 mb-3">半導体分野</h3>
<ul className="space-y-2 text-sm">
<li>
<a href="https://www.organo.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/04/CSRReport_2019.pdf" target="_blank" rel="noopener noreferrer" className="text-blue-500 underline hover:text-blue-700">
オルガノ株式会社 CSRレポート2019
</a>
</li>
<li>
<a href="https://www.kobelco-eco.co.jp/development/docs/135_10.pdf" target="_blank" rel="noopener noreferrer" className="text-blue-500 underline hover:text-blue-700">
神鋼パンテック技報 半導体排水処理技術
</a>
</li>
<li>
<a href="https://www.ngk.co.jp/product/cm-cefilt-app01.html" target="_blank" rel="noopener noreferrer" className="text-blue-500 underline hover:text-blue-700">
日本ガイシ セラミック膜CMP排水処理
</a>
</li>
<li>
<a href="https://kcr.kurita.co.jp/solutions/water-school/020.html" target="_blank" rel="noopener noreferrer" className="text-blue-500 underline hover:text-blue-700">
栗田工業 フッ素含有排水処理技術
</a>
</li>
</ul>
</div>
<div>
<h3 className="text-lg font-semibold text-green-600 mb-3">公共分野</h3>
<ul className="space-y-2 text-sm">
<li>
<a href="https://www.mlit.go.jp/common/001033454.pdf" target="_blank" rel="noopener noreferrer" className="text-green-500 underline hover:text-green-700">
国土交通省 高度処理ナレッジ集
</a>
</li>
<li>
<a href="https://www.mlit.go.jp/mizukokudo/sewerage/mizukokudo_sewerage_tk_000450.html" target="_blank" rel="noopener noreferrer" className="text-green-500 underline hover:text-green-700">
B-DASHプロジェクト(下水道革新技術)
</a>
</li>
<li>
<a href="https://www.env.go.jp/content/000185566.pdf" target="_blank" rel="noopener noreferrer" className="text-green-500 underline hover:text-green-700">
環境省 PFASに関する今後の対応の方向性
</a>
</li>
</ul>
</div>
</div>
<div className="mt-6 p-4 bg-gray-50 rounded-lg">
<p className="text-sm text-gray-600">
<strong>調査期間:</strong>2024年9月<br/>
<strong>調査方法:</strong>企業技術資料、政府公開文書、学術論文等の一次情報を基にした包括的分析<br/>
<strong>分析対象:</strong>処理技術、工程フロー、経済性、環境規制動向、技術革新トレンド
</p>
</div>
</div>
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</div>
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🏷排水特性と規制の違い: 半導体vs下水道の前提整理

排水特性と規制の違い: 半導体vs下水道の前提整理
半導体工場排水と公共下水(下水処理場に入る混合下水)は、見かけは「水」でも、成分・濃度レンジ・流量変動・規制の枠組み・処理責任が根本的に異なります。本節では、まず事実(排水特性・規制動向・技術的選択肢)を提示し、その意味と実務上の示唆を重ねて整理します。主にPFAS(フッ素系化合物)・フッ素イオン(F−)・TMAH(四級アンモニウム塩)を焦点に、半導体側の特性と下水道側の前提を対照します。
- 概観:政策と技術の注目点(背景事実)
- PFASについては、環境省が「今後の対応の方向性」で、国際動向や暫定目標値・監視強化、処理技術(活性炭、イオン交換樹脂、RO膜、AOPなど)の検討を明確に示し、規制・モニタリング強化の方向性を打ち出しています(政策的に一段と厳格化する構図)。env.go.jp
- 一方、フッ素(無機のF−)については公共排水基準が存在し、排出事業者側での処理が必須とされる実務的な基準(海域以外8 mg F/L 等)が運用されています。処理方法は凝集沈殿(カルシウム・アルミニウム系)、吸着、逆浸透などが現場で併用されることが多いですnextry.jpawi.co.jp。atss.co.jp
- 「源(source)」と「量・変動」
- 半導体工場:原単位では「少量高負荷」の点放流が典型。特定工程(エッチング、洗浄、フォトレジスト処理、現像・剥離など)から高濃度のフッ化物やTMAH、溶媒、強酸・強アルカリが発生し、排水は工程ごとに濃度や組成が大きく異なります(工程内での分離・回収が可能な点がある)。節水・リサイクルの取り組みも進展しているため、工場内での再利用を前提にした処理設計が現実的です。kinki-shasej.org
- 下水道(公共):大量かつ一様に混合された流量(生活排水+事業所排水+雨水など)で、希釈効果が働く反面、個別有害物質の低濃度長期負荷が問題になります。処理は標準的に活性汚泥法等の生物処理がベースで、栄養塩(N, P)やBOD/SS管理が主目的です(大規模・連続運転が前提)。mlit.go.jp
- 意味:半導体は「点で高度処理(オンサイト)」が合理的、下水道は「広域で量処理+高度処理はコストと運転の制約あり」という対照が生じます。
- 主要汚染物質と処理の難易度(事実)
- PFAS(難分解・持続性):環境省資料は、活性炭、イオン交換、膜(NF/RO)、高度酸化(AOP)などが有効技術として検討されていると整理しています。ただし、PFASは種類が多く、測定法や残渣(吸着材や濃縮液)の処理・再処理が課題であると指摘しています。env.go.jp
- フッ素イオン(無機F−):凝集沈殿(フッ化カルシウム化)→沈降、あるいは吸着やROという組合せが実務的で、濃度低下の“段階設計”(高濃度は凝集、低濃度は吸着)が一般的ですnextry.jpawi.co.jp。atss.co.jp
- TMAH(有機塩):半導体で多用されるTMAHは、ミジンコへの慢性毒性が極めて鋭敏で、研究ではニセネコゼミジンコのNOECが0.0158 mg/Lと示され、事業場排水の希釈率等を考慮した管理目標が提案されています。TMAHは生分解性を示す報告もある一方で、共存イオン(例:ヨウ化カリウム等)で毒性増強の可能性があり、下水処理場での挙動や実効的な除去実績の把握が課題です。jst.go.jp
- 意味:PFASは「長期的な系全体の負荷・蓄積」が問題、TMAHは「局所的な生態影響のリスク(低濃度での慢性毒性)」が問題になります。
- 規制と管理の枠組み(事実 → 解釈)
- 短期的には事業者(半導体工場など)がオンサイトでの前処理・濃度低減を行い、下水道への負担を下げることが期待されています。環境省はPFOS/PFOA等の個別管理に加え、グループ管理(総PFASや複数合算基準)検討を進めており、今後日本でもさらに厳格かつ広範な規制が想定されます。env.go.jp
- 下水処理場側は、多くのPFASを標準処理で取り除けない(または低効率)ため、「ホットスポット(高濃度排出源)把握→産業分化排水の規制・分離」や、必要時の高度処理設置(GACやイオン交換、膜、AOPの局所導入)という柔軟な対応が必要とされますenv.go.jp。mlit.go.jp
- 意味:規制は今後“点源の管理強化+下水道側の高度処理オプション整備”の両輪で進むと考えられます。
- 処理技術の選択と運用上のトレードオフ(事実+考察)
- 半導体側では、原理的に「工程別に排水を分離→高負荷は薬注・沈殿・膜で濃縮→濃縮物は再生・外部処理/焼却等で処理」するフローが合理的です。フッ素処理は凝集沈殿を一次で、残留低濃度は吸着やROで詰めるのが実務的ですnextry.jp。awi.co.jp
- 下水処理場は、活性汚泥による生物処理(窒素・リン除去)を基盤にしつつ、PFAS等の非生分解性物質には物理吸着・膜・AOP等の“付加的な段階”が必要で、設置や運転コスト、処理残渣(吸着材や逆洗濃縮液)の処分が重大な管理課題になります(つまり「技術はあるがコストと残渣管理が重い」)env.go.jp。mlit.go.jp
- 示唆:工程設計段階で「誰が残渣を持つか(事業者か公共か)」を明確にせずに高度処理だけ導入すると、廃棄・再処理の負担が地域に転嫁されるリスクがあります。
- 現場データの重要性:モニタリングと管理目標(事実+提言)
- 環境省資料は、PFASについて国内外の測定法・モニタリング強化と暫定目標値の見直しを進めることを推奨しています(継続的なデータ蓄積の重要性)。env.go.jp
- TMAHのように、種ごとに感受性が大きく異なる毒性特性を持つ物質は「生物応答を使った排水管理目標の設定」や地域単位での追跡が有効であることが研究から示唆されています。jst.go.jp
- 実務的示唆:半導体側は工程毎の代表性サンプリングとオンライン監視(pH、導電率に加え、特定物質の定期分析)を強化すべきで、自治体は「流域内の事業者分布に基づくターゲットモニタリング」を拡充すべきです。
- 要点のまとめ(実務者向け結論)
- 半導体事業者にとって当面の必須対応は:源での分離・濃縮(工程分離)、フッ素は凝集→吸着/ROで段階処理、PFASやTMAHはオンサイトで最大限除去または濃縮して残渣を適切に管理すること。PFASの法的強化に備えて活性炭・イオン交換・膜やAOPの実装検証を行うべきですenv.go.jpnextry.jp。jst.go.jp
- 下水道管理者にとっては:ホットスポットとなる産業排水の特定と産業側への前提整備要求(オンサイト処理の義務化や契約上の役割分担)、必要時に局所的高度処理を設けるための費用負担ルールと残渣処分ルール整備が鍵です(MLITの高度処理ナレッジが参考になります)。mlit.go.jp
- 最後に:PFASのような“長期蓄積・低濃度影響”物質は、個別技術だけでなく「測定・情報共有・責任分担(誰がどの残渣を処分するか)」を含む制度設計が処理戦略の成功を決める、という点を強調します。env.go.jp
(補助図)半導体⇔下水道の対照イメージ(簡易フロー)

(比較表)要点早見
項目 | 半導体工場排水(特徴) | 公共下水(下水処理場へ入る水) |
---|---|---|
流量・変動 | 小量・高負荷・工程依存(点放流) | 大量・希釈効果あり・継続流 |
主要汚濁物質 | フッ素(F−)、TMAH、溶媒、酸・アルカリ、PFAS等 | 有機性負荷、窒素・リン、低濃度PFAS等(混合) |
技術的対策 | 工場内分離→凝集/化学処理→吸着/膜→濃縮・再利用 | 活性汚泥が基盤、必要時にGAC/膜/AOP等の付加 |
規制・管理 | 事業者責任で前処理が必須(基準達成) | 下水処理は一次処理で限界、ホットスポット対応が必要 |
規制動向 | PFAS等の対象拡大、オンサイト管理強化が想定 | 高度処理導入の財源・残渣処分ルール整備が課題 |
参考(出典) | TMAH毒性研究、フッ素処理実務、PFAS指針等 jst.go.jp nextry.jp env.go.jp | 下水道高度処理ノウハウ、政策文書 mlit.go.jp env.go.jp |
もし次に着手するなら(推奨アクション)
- 半導体側:工程別の代表サンプルによるPFAS/TMAHフロー図作成と、凝集→吸着→膜の小規模パイロットを行い、残渣の扱い(再生・外部処理コスト)を明確にしてください(PFAS対策は規制強化でコスト化が進みます)。env.go.jp
- 下水道側:流域内事業者マッピング→高濃度排出源のモニタリング強化→必要ならば共同での高度処理プラント(あるいは事業者負担でのオンサイト改修)検討を進めてください。mlit.go.jp
- 両者共通:PFASやTMAHの計測法・検出限界の統一、残渣(吸着材・濃縮液)管理のルール化、情報共有プラットフォームの構築が長期的な費用最適化に直結します。env.go.jp
参考主要出典(本文中引用)
- 環境省「PFASに関する今後の対応の方向性」(令和5年)env.go.jp
- TMAHの排水管理目標に関する研究(J-STAGE)jst.go.jp
- フッ素含有廃液の処理法・導入事例(産業技術系サイト)nextry.jpatss.co.jpawi.co.jp
- 下水道高度処理ナレッジ等(国土交通省)mlit.go.jp
さらに掘り下げたい点(選択肢)
- 半導体工程別の典型的原水成分表(計測データ収集)を出しますか?
- PFAS別(C数や物性)ごとの処理・測定可能性一覧(技術マトリクス)を作成しますか?
ご希望に応じて、次の深掘りアクションを提案します。
...
🏷共通の7工程フレーム: 受入・前処理・一次・生物・高度・回収・放流/再利用

共通の7工程フレーム: 受入・前処理・一次・生物・高度・回収・放流/再利用
半導体排水と公共下水(自治体下水処理)は目的(製造プロセスの水再利用と環境放流の安全確保)や汚濁物質の種類(半導体:フッ素、TMAH、有機溶媒、スラリー、PFAS 等;公共:生活系有機物、窒素・リン、SS、病原性微生物 等)が大きく異なりますが、工程を「受入→前処理→一次処理→生物処理→高度処理→回収(資源回収/濃縮)→放流/再利用」の7段階で整理すると、設計・運転の比較と意思決定がしやすくなります。以下、各工程ごとに「半導体系の典型的処理技術と課題」と「公共下水(自治体)の標準的取組と特徴」を対比し、フッ素(フッ素系化合物)、TMAH、PFAS 対応の観点で具体的示唆を提示します。参照元は各段落ごとに明記しています。
- 受入(排水発生源の分別・管理)
- 半導体工場: 排水は工程ごとに薬品組成や濃度が大きく異なるため、工程単位での分流・分別(高濃度フッ素系、TMAH含有、CMPスラリーなど)を行うことが前提です。工程分離と流量管理により後段設備の負荷を下げ、処理コストとリスクを低減できます、hitachi-hps.co.jp。kinki-shasej.org
- 公共下水: 受入は広域かつ変動が大きく、分流化(汚濁負荷の高い事業系排水の分離)や前処理要求の法令的整備が重要です。下水処理場は標準的に格納・均質化の上で次工程へ送る設計となっており、ばらつき対策が運転管理上の主要課題です、jswa.jp。mlit.go.jp
- 意味・示唆: 言い換えると、半導体現場では「源での分離」が最も有効で、PFAS・高濃度フッ素等の高負荷流は個別処理(または回収)した方が下流設備の複雑化を避けられます。kinki-shasej.org
- 前処理(固形分・粗大物・中和・凝集)
- 半導体工場: pH調整、凝集沈殿、固液分離(凝集剤+フィルタ/沈殿)、フッ素系の前処理として吸着やイオン交換での先取りが行われる場合があります。栗田らの回収システムでは「新規凝集+除濁膜」を前処理に使って膜のファウリングを抑制しています。kinki-shasej.org
- 公共下水: 沈砂池・最初沈殿池で砂や粗大固形物を除去し、その後の生物槽負荷低減を図ります。これが処理効率の基礎で、活性汚泥法の前段として必須です。jswa.jp
- 意味・示唆: 半導体排水では前処理での「薬品選択」と「膜への負担軽減」が鍵。凝集や前膜で有機物・スラリーを効率的に取り除けば、後段ROや高級酸化法の安定運転が容易になります。kinki-shasej.org
- 一次処理(物理・化学的処理)
- 半導体工場: 凝集沈殿、化学酸化(過酸化水素など)、還元凝集、活性炭吸着、イオン交換(フッ素やTMAHの回収・除去に有効)、膜分離(UF/MBR 前の保護)など多様な手法を組み合わせます。日立の整理でも、フッ素系、TMAH、CMP排水などに応じて凝集や膜、吸着、還元処理が利用されるとされています。hitachi-hps.co.jp
- 公共下水: ここでは「最初沈殿→生物反応槽」へ送る一連の前処理・一次処理を指します。大規模下水処理場では急速ろ過や凝集剤添加を含む事例が高度処理導入時に報告されています。mlit.go.jp
- 意味・示唆: 半導体系では一次段階でPFASやフッ素をどの程度「捕捉」するかがコスト効率に直結します。PFASは一般に吸着やイオン交換、膜での濃縮が現実的な第一選択とされ、完全分解は高度でコスト高になります、nedo.go.jp。kinki-shasej.org
- 生物処理(活性汚泥等)
- 半導体工場: 多くの半導体排水は無機フッ素や難分解性有機(TMAH や一部PFAS前駆体)を含み、生物処理での十分な除去が難しいため、生物処理は補助的に用いられるか、MBRで有機負荷を制御しつつ膜で分離するケースが多いです。日立の事例ではMBRや担体活性汚泥法が提案されています。hitachi-hps.co.jp
- 公共下水: 活性汚泥法は中核で、窒素・リン除去のために嫌気・無酸素・好気の組合せ(A2O 等)や硝化脱窒運転が広く導入され、運転管理指標(DO, ORP, MLSS 等)を用いて品質を維持しています、mlit.go.jp。chematels.com
- 意味・示唆: 生物処理は公共下水では強力だが、半導体排水の主要毒性因子(フッ素、TMAH、PFAS)は生物処理で十分に分解・除去されないか、処理が不安定になりうるため、半導体側では生物工程に入れる前段での選別・中和・化学的除去が重要となります。hitachi-hps.co.jp
- 高度処理(膜、吸着、AOP、イオン交換、ろ過等)
- 半導体工場: 最も重要かつ特徴的な工程。RO(逆浸透)、イオン交換(IX)、活性炭(AC)吸着、AOP(高度酸化処理)、H2O2触媒分解、還元処理などを組合せて純水化・有害物質除去を行います。栗田のCORR™事例で示される通り、膜処理+薬品の最適化と監視で回収性能と運転安定性を高め、省エネ化(極超低圧ROで圧力を0.7→0.3MPaへ低減)を図る動きがあります。kinki-shasej.org
- 公共下水: 窒素・リン除去のための「段階的高度処理」や急速ろ過、凝集剤添加が実務で採られていますが、PFASのような微量持続性化学物質に対しては一般下水処理・高度処理だけでは不十分な場合が多く、活性炭や膜、イオン交換の導入が検討されています、mlit.go.jp。chematels.com
- PFAS・フッ素対応の技術的特徴と課題:
- 吸着(活性炭)は短鎖PFASや有機物の影響で効果が低下することがあり、前処理で有機負荷を下げる必要があります。nedo.go.jp
- イオン交換樹脂は選択性に優れるが運転寿命と再生処理(回収・処分)が課題です。nedo.go.jp
- ROは高い濃縮効果があるが、処理後の高濃度濃縮液の処分(焼却や安定化)が課題で、エネルギーコストも主要要因です(極低圧ROは消費電力低減に寄与)。kinki-shasej.org
- AOP(高級酸化)は難分解性有機の分解に試されるが、PFAS完全分解は温度・エネルギー要求が極めて高く、既存熱分解(1100℃程度)でも十分でない場合が報告されているため、分解技術開発とコスト低減が研究課題です。nedo.go.jp
- 吸着(活性炭)は短鎖PFASや有機物の影響で効果が低下することがあり、前処理で有機負荷を下げる必要があります
- 意味・示唆: 半導体側では「膜+吸着/IX+(必要に応じてAOP)」という多段の組合せが現実解。公共側はまず監視と段階的導入(吸着や膜設備の追加)で対応を進めるのが合理的と考えられます、mlit.go.jp。nedo.go.jp
(挿図)反応タンク(活性汚泥法のイメージ)
図は公共下水の反応タンクイメージで、生物処理段階の考え方を示します(出典: 下水道事業団/JSWA)。

jswa.jp
- 回収(濃縮・資源回収)
- 半導体工場: 排水回収システムにより工場内再利用(冷却塔補給等)や原水回収を行い、RO やイオン交換で高品質の再利用水を供給する事例があります。栗田の事例では回収により工場内上水使用量を約40%、下水放流量を約30%削減した事例が報告されています。kinki-shasej.org
- 公共下水: 下水汚泥からのリン回収(焼却灰からのリン抽出)など資源化が行政課題として進められており、広域循環・地産地消モデルの検討が行われています。mlit.go.jp
- PFAS 観点: ROや吸着で濃縮した廃棄物の取り扱い(焼却や埋立での溶出管理、あるいは特別処分)が重要で、NEDO 等が「濃縮廃棄物の扱い」「分解技術」「高感度分析」の研究を進めています。nedo.go.jp
- 意味・示唆: 回収は資源有効利用と同時に「高濃度廃棄物の安全処理」を伴うため、経済性と最終処分ルート(焼却炉の温度・処理法)をセットで設計する必要があります、kinki-shasej.org。nedo.go.jp
- 放流 / 再利用(最終用途の品質確保と規制遵守)
- 半導体工場: 再利用先(工場内プロセス用・ボイラ・冷却塔等)ごとに求められる水質が異なり、超純水や工場用水への適合を保証するため、イオン交換、RO、脱塩等で最終品質管理を行います。処理能力は小規模~中規模(150~2400 m3/日等)までの実績があると整理されています。hitachi-hps.co.jp
- 公共下水: 放流基準(BOD、TN、TP 等)や消毒基準を満たすことが基本で、近年は閉鎖性水域の富栄養化対策として段階的高度処理で TN/TP を大幅に低減した事例が蓄積されています(例:ある施設でTP 1.7→0.4 mg/L、別事例でTN 29.9→4.9 mg/L といった効果)。mlit.go.jp
- 意味・示唆: PFAS 等の微量持続性化学物質に対する規制や監視強化が進む中、放流・再利用の判断は「処理プロセスの確実性(特に濃度変動対策)+分析能力(高感度検査)」の組合せが前提です。技術的に除去・濃縮は可能でも、最終的な法規制・処分手段が整っているかが運用上の決定因となります、nedo.go.jp。mlit.go.jp
総合的な洞察と実務的提言(優先順位)
- 優先1(源対策): 半導体現場ではまず工程分流・薬品管理を徹底し、高負荷流は個別処理または回収対象とすること。源分離は最もコスト効率の高い手段です。hitachi-hps.co.jp
- 優先2(多段処理設計): PFAS/フッ素/TMAH 対応は単一技術での解決が難しいため、前処理→膜(RO/UF)→吸着/IX→必要時AOP(分解)という多段設計が実務上有効。濃縮液の処理ルート(焼却、安定化)を同時に決めることが不可欠です、kinki-shasej.org。nedo.go.jp
- 優先3(監視と運転管理の高度化): 下水側の段階的高度化事例が示すように、連続モニタリング(N, P 等)やAIを用いた運転最適化は、変動負荷下での安定運転に寄与します。半導体側でもIoT監視・遠隔解析の導入が運転負荷低減に有効です、mlit.go.jp、mlit.go.jp。kinki-shasej.org
- 優先4(規制・分析インフラ): PFAS 等の微量管理は高感度分析・基準設定が前提となるため、行政と事業者での共同モニタリング体制と処理水質基準の整備が進むことを注視すべきです、nedo.go.jp。mlit.go.jp
- 優先5(コストとエネルギーの最適化): RO の圧力低減や薬品の最適化、運転監視による未然対応で電力・薬品コストを低減できる余地があり、設備選定時にライフサイクルコストで比較検討することが重要です。kinki-shasej.org
結びの示唆
- 半導体排水は「高濃度・多様な化学物質」を含むため、公共下水の標準処理を単純に適用しても不十分な場合が多く、源での分離→多段処理→濃縮廃棄の管理という設計原則が有効です。公共下水処理は大量・変動対応に強く、窒素・リン除去の高度化と連続監視の蓄積が進んでいますが、PFAS 等の持続性化学物質対応では装置導入や最終処分の観点で事業系排水との協調が不可避です、mlit.go.jp、nedo.go.jp。kinki-shasej.org
- 実務的には、(1)発生源管理の徹底、(2)前処理での有機負荷低減、(3)膜+吸着/IX の多段で濃縮、(4)濃縮廃棄物の安全処分ルート確保、(5)連続監視とAI運転の導入、の5点を優先すると効果的であると考えられます、kinki-shasej.org、hitachi-hps.co.jp、mlit.go.jp。nedo.go.jp
参照(本文で直接引用した主要資料)
- 半導体排水処理と再利用技術の整理(事例・技術一覧): 日立プラントサービスhitachi-hps.co.jp
- 半導体工場の排水回収システム(CORR™)・極超低圧RO 等の事例: 栗田工業を含む解説(出典: 報告書 PDF)kinki-shasej.org
- 公共下水の工程と高度処理ナレッジ集(A2O, 硝化脱窒, 事例データ): MLIT 高度処理ナレッジ集mlit.go.jp
- PFAS含有排水の処理・分解・分析に関する研究動向(技術課題: RO/IX/AC、分解困難性、濃縮廃棄の課題): NEDO資料nedo.go.jp
- 下水処理プロセスの図解(活性汚泥法イメージ): JSWA(図・イラスト)jswa.jp
- 高度処理・活性汚泥法の高度化(解説記事): 高度処理の要点まとめchematels.com
- AI と運転最適化の取組(下水処理場の自動化・監視): MLIT 報告書mlit.go.jp
必要であれば、上の7工程それぞれについて
- 期待される水質目標(例: PFASやフッ素の目標値候補)
- 技術選定マトリクス(処理コスト・適用性・廃棄物発生量)
- 実装時の試験計画(短期パイロット項目・モニタリング項目) を個別に作成して提供します。どの情報を優先して深掘りしますか。
🏷半導体の工程別処理: フッ酸系(凝集沈殿+吸着)・CMP(膜ろ過)・TMAH/IPA(濃縮+生物分解)・有機高速嫌気

半導体の工程別処理: フッ酸系(凝集沈殿+吸着)・CMP(膜ろ過)・TMAH/IPA(濃縮+生物分解)・有機高速嫌気
半導体工場の排水処理は「高純度要求」「特定化学物質の存在」「工程別に分離された排水」の三点が特徴であり、公共下水処理(大容量・一般有機物・窒素/リン対策が中心)とは目的と手段が大きく異なります。以下では、典型的な半導体工程ごとに用いられる処理手法を工程ベースで整理し、根拠となる事例と技術的検討、そして自治体処理との対比・実務的示唆を提示します。
- フッ酸系(フッ素) — 凝集沈殿で大半を除去し、吸着で高度浄化・回収
- 凝集沈殿(カルシウム法、アルミニウム塩添加など)でまずフッ素を固相化し大部分を除去するのが基本です。厳しい基準や低濃度域では凝集後の吸着(専用吸着剤)を組み合わせることで安定して低濃度化できます(事例:15mg/L → 2mg/L)。 証拠・事例: 凝集+吸着の組合せによる除去・運用(再生塔を複数用意して連続稼働)awi.co.jp。awi.co.jp
- 高付加価値化(資源回収)の潮流:晶析によるフッ酸の再資源化装置(例:エコクリスタ)などにより、廃フッ酸から合成蛍石等を回収し原料へ戻す事例が報告されています(企業技術紹介)。 意味・示唆: 凝集だけでは低濃度域が限界なので、吸着やイオン交換、さらに再資源化プロセスを加えることで処理コストと廃棄物負荷のバランスを改善できると考えられますorgano.co.jpawi.co.jp。organo.co.jp
- CMP(研磨)排水 — 濃濁(シリカ・スラリ)を膜ろ過で分離・高濃縮し有価物回収
- CMP排水は微細シリカ粒子等の濁質が主で、凝集沈殿だけでは泥量が増えがち。セラミック膜(UF/限外ろ過)などの膜ろ過で高FLUXを維持しつつ高濃縮・高回収率を実現する研究・商品化が進んでいます(セラミック膜は耐薬品性・高濃縮・長寿命が利点)[北海道大学論文、NGK製品情報]。 証拠・事例: セラミック膜を使うと濃縮限界や水回収率で有利(膜で99%近い回収、濃縮限界が有機膜より大きい)https://www.ngk.co.jp/product/membrane/cefilt_01/http://hdl.handle.net/2115/7231。
- システム設計上の工夫:2段膜ろ過方式やpH制御、膜のクロスフロー運転で目詰まりを抑え、必要な膜面積やポンプ動力を抑える設計が有効(学術・実機試験でコスト削減効果報告)[北海道大学研究、NGK製品]。 意味・示唆: CMP系は「固液分離→固形回収(シリコン回収)」と「透過水を再利用して工程給水に戻す」ことで廃棄低減とコスト抑制が可能です。膜選定(セラミック vs 有機)とプロセス分段化が特に重要ですhttp://hdl.handle.net/2115/7231https://www.ngk.co.jp/product/membrane/cefilt_01/。
(図:CMP膜ろ過システム例)


- TMAH(およびIPA)対策 — 分離(濃縮)→熱分解または生物分解(嫌気)という二段戦略
- 半導体現像液に含まれるTMAHは難分解性で、排水が希薄(0.01–0.1%程度)なため、まずイオン交換等でTMAHを濃縮し、濃縮廃液を熱分解/触媒処理で無害化する「濃縮→分解」のフローが実用案として示されています[ユニケミー報告]。
証拠・手順例: イオン交換で80%以上吸着、その後再生で脱離→減圧濃縮→加熱(130℃程度)でトリメチルアミン+メタノールに分解→触媒で完全分解(N2, CO2, H2O)。unichemy.co.jp
- 一方で、嫌気(特にメチル基を使うメタン生成古細菌群)による生物分解(メタノール→メタン化)が研究で示されており、下水消化汚泥由来の植種による連続処理の実証が報告されています。つまり、濃縮してから嫌気で処理しバイオガス回収する選択肢が現実的です[研究プロジェクト報告]。
証拠・研究: KAKENHI研究で下水汚泥を植種源にTMAH/IPAの嫌気分解・メタン生成を確認している。 意味・示唆: 熱分解は高温・エネルギー負荷が大きい一方で確実性が高く、嫌気処理は低エネルギーで副産物(メタン)を得られる可能性があるため、濃度・水量・エネルギーバランスに応じて使い分けることが実務的ですnii.ac.jpunichemy.co.jp。nii.ac.jp
- 有機系一般(IPAなど) — 高圧UV+活性炭や好気/生物膜処理の組合せで低TOC化→膜処理へ
- 希薄有機(IPA含む)はUV/H2O2(高圧UV酸化)で低TOC化したのち、活性炭で残留分を処理する事例が実務で採用されています(希薄TOCを0.2mg/L以下へ)[電子工業事例]。
証拠・事例: 希薄洗浄排水に対し高圧UV酸化+活性炭でTOCを0.2mg/L以下へ低減する運用例。irpocket.com
- 有機負荷が高い流れはまず生物膜ろ過(BCF等)で安定して有機物を分解し、精密ろ過→ROという段階を経て純水原水へ戻す設計が確立されています(回収率の高いセミクローズド運用)[電子工業回収事例]。
意味・示唆: 有機系は膜前処理の選定(生物膜・UF/MF)とUV酸化などの高度酸化の組合せにより、ROへの負荷を抑えて高回収率運転が可能です。irpocket.com
- 有機高速嫌気(エネルギー回収型) — 流動担体型高速嫌気で低汚泥・高負荷処理、メタン回収
- 流動担体型の高速嫌気処理は、従来の好気処理よりも容積当たりの処理速度が高く、TMAHや低濃度有機物の処理に適用可能で、発生メタンをエネルギー源として回収する事例が報告されています[オルガノ高速嫌気リリース]。
証拠・事例: オルガノの流動担体型高速嫌気装置は好気処理の10倍以上、嫌気グラニュール処理の3倍以上の高速処理を達成するとされ、メタンのエネルギー回収が可能。 意味・示唆: 工場規模での導入により運転コスト低減とエネルギー自律性(発電や熱利用)が期待できるため、TMAH/高有機負荷系の長期戦略に向きますorgano.co.jp。organo.co.jp
- イオン交換・RO・膜技術の立ち位置(全工程での補完)
- 半導体ではイオン交換(陽/陰)、RO、膜分離が工程ごとに補完的に用いられ、超純水供給や排水中イオンの除去・濃縮に多用されます。RO濃縮水の後処理やイオン交換列の再生管理が運用上重要です(電子工業事例で高い回収率が実現)[オルガノ資料、電子工業事例]。
出典: オルガノの回収システムと排水分別運用の事例報告。irpocket.com
- 管理運用上の留意点(監視、分別、DX)
- 半導体では工程分別(無機系・有機系・希薄洗浄・RO濃縮等)を精密に行い、TOC計や導電率計で自動弁切替を実装することで回収設備を保護することが必須です(事例報告で導入の必要性が指摘)[電子工業回収事例]。
出典: 排水分別と自動弁による設計運用の重要性。irpocket.com
- DX/センシングの活用例:リアルタイム監視、予兆検知、遠隔運転により設備稼働率と水回収率を高める動きが企業技術資料で示されています(オルガノのDX事例)。 意味・示唆: 高付加価値工場では投資対効果が見込みやすく、DX化により小規模・分散設備でも安定運転が可能になりますirpocket.com。irpocket.com
- PFAS・超難分解物質への示唆(公共・産業共通での課題)
- PFAS系物質は半導体排水でも懸念され、現在の技術評価では活性炭、イオン交換樹脂、RO(カスケード)およびAOP(高度酸化)などを組合せる方向が検討されていますが、分解は難しくコスト高の課題があると報告されています(研究開発・政策文書)[NEDOのPFAS開発報告]。
出典: 高PFAS含有排水の処理・分解・計測技術の課題と方策(NEDO資料)。 意味・示唆: PFASなどは「除去→濃縮→高温分解 or 専用処理」が必要で、自治体処理と工場内処理の分担(工場で濃縮・処分物管理、自治体で大規模処置の分担)を早めに設計することが賢明ですnedo.go.jp。nedo.go.jp
総合的な洞察と実務的勧告
- 工程分離(排水の分別)が全ての効率の鍵です。無機系(フッ素等)、有機系(TMAH/IPA等)、固体負荷(CMP)をきちんと分離すれば、最適技術(凝集+吸着、濃縮+分解、膜分離、嫌気)を合わせて低コストで安定化できます[電子工業回収事例、AWI、ユニケミー]。
出典: 分別・回収設計と自動監視の重要性irpocket.com。awi.co.jp
- 資源回収(フッ酸、シリコン、溶剤等)は長期的に運用コストを下げるだけでなくサーキュラーエコノミーにも直結するため、設備投資の正当化要因になります(実機導入例あり)[オルガノ、NGK事例]。
出典: フッ酸晶析回収やセラミック膜でのシリコン回収事例https://www.ngk.co.jp/product/membrane/cefilt_01/。organo.co.jp
- エネルギー収支を評価して、嫌気(メタン回収)を有効に使うか、高温分解で確実性を取るかを決定してください。TMAHは濃縮してから処理する戦略が、エネルギー効率と処理確度の観点で合理的です[ユニケミー、KAKENHI、オルガノ]。
出典: TMAHの濃縮→熱分解フローと嫌気分解の研究unichemy.co.jpnii.ac.jp。organo.co.jp
- 最後に、自治体下水処理との関係では、半導体側で「厳格に分離・高度処理」してから放流/委託することで下水処理場の負担を下げられます。逆に、地域・自治体側のインフラ(高度処理ナレッジやリン回収技術など)を活用して工場の低コスト処分を設計する協働スキームも現実的です(国土交通省・高度処理ナレッジなどの事例集参照)[MLITナレッジ集]。
出典: 下水道高度処理・運転方法/資源化の手引きmlit.go.jp。mlit.go.jp
(工程フロー概念図:mermaid)
参考(抜粋した出典)
- フッ素処理(凝集+吸着)事例: エア・ウォーター事例 awi.co.jp
- オルガノの有価物回収・フッ素晶析等: organo.co.jp
- 電子工業の排水回収設計・UV酸化・生物処理等の体系: irpocket.com
- 高速嫌気処理(オルガノニュースリリース): organo.co.jp
- TMAH処理(濃縮→熱分解)とイオン交換の知見: unichemy.co.jp
- TMAH・IPAの嫌気分解研究(KAKENHIプロジェクト): nii.ac.jp
- CMP用セラミック膜・技術比較(NGK / 北海道大学): https://www.ngk.co.jp/product/membrane/cefilt_01/http://hdl.handle.net/2115/7231
- PFAS・高難度処理の技術課題(NEDOまとめ): nedo.go.jp
- 下水道の高度処理・資源化ナレッジ(自治体側との対比): mlit.go.jp
次のアクション提案(実務向け)
- 現場でまず行うこと:工程ごとの排水分離マップを作成し、各流れの水質(TOC、導電率、F、TMAH等)を測定して負荷分布を把握してください。得られたデータを基に「凝集+吸着」「膜分離」「濃縮→分解/嫌気」の投資優先順位を決めると効果的です(必要なら計測データ解析支援を提供します)。
- 技術検証の勧め:TMAHは濃縮→嫌気のいずれかで処理可能性が示されているため、パイロットで濃縮効率と嫌気処理のメタン生成量を評価し、エネルギー収支を比較することを推奨しますunichemy.co.jp。nii.ac.jp
必要であれば、貴社(または対象工場)の想定排水組成と流量を教えてください。工程別マッピング→優先技術マトリクス→概算CAPEX/OPEX試算の順で、より具体的な提案書(図・表付き)を作成します。
🏷下水道の工程別処理: 初沈・活性汚泥・A2Oでの窒素/リン除去・高度処理・汚泥消化ガスとリン回収

下水道の工程別処理:初沈・活性汚泥・A2Oでの窒素/リン除去・高度処理・汚泥消化ガスとリン回収
下水道の処理プロセスは、「流入→一次処理(初沈)→二次処理(活性汚泥)→窒素・リン除去を含む高度処理(A2O 等)→消毒・放流」といった水処理の流れと、それに並行して進む「汚泥処理(濃縮・嫌気性消化・脱水)→焼却・灰処理→資源化(リン回収)/エネルギー回収(消化ガス発電)」という二本立ての流れで構成されます。本節では工程別に事実を示しつつ、その意味と自治体運用上のインプリケーション(費用・適用性・課題)を示します。
- 初沈(一次沈殿)
- 目的:粗い浮遊性懸濁物質(SS)の除去により後段生物処理負荷を低減する。
- 意味:初沈によりBOD・SSの大部分が除去され、活性汚泥系の負荷安定化に寄与する。降雨時のバイパス運転など運転上の工夫が必要な事例が多いとされる(事例:合流式下水道では雨天時希薄化に注意)。mlit.go.jp
- 示唆:初沈での除去性能は後段の処理設計(槽容量・曝気量・返送比)と密接に結びつくため、処理場改造ではまず初沈の処理能力とバイパス運用を検討するのが合理的です。mlit.go.jp
- 活性汚泥プロセス(標準活性汚泥法)
- 目的:微生物の作用で有機物(BOD)を分解し、最終沈殿池で固液分離する。
- 工程的特徴:エアレーションタンク(好気)→最終沈殿池。余剰汚泥は濃縮・消化または焼却へ送られる。kendenkyo.or.jp
- 意味:下水処理の中核であり、ここで発生する「活性汚泥の挙動(糸状菌化、バルキング等)」が処理水質と汚泥発生量を左右する。運転制御(曝気制御、返送汚泥比の見直し)が日常管理上の主要作業となる。mlit.go.jp
- A2O(嫌気–無酸素–好気)等による窒素・リン除去(段階的高度処理)
- 目的:窒素は硝化脱窒で窒素ガス化、リンは嫌気好気活性汚泥法や化学凝集で除去する。A2Oは窒素とリンの同時制御を目的とする一般的な方式である。mlit.go.jp
- 実務的ポイント:ステップ流入、無酸素槽・嫌気槽の滞留時間や撹拌、硝化液循環比などが性能に直結する。複数槽を持つ場合は工程設計(どの槽でN・Pを処理させるか)と運転管理が重要で、事例ごとに運転最適化(間欠曝気やステップ流入)が行われている。mlit.go.jp
- 意味と影響:言い換えると、A2O系の導入は放流水質目標(TN、TP)達成のための“空間と運転ノウハウ”を買う行為であり、既設槽の隔壁設置や撹拌機追加で高度化するケースも多い。運転管理の熟練度とエネルギーコスト(曝気量)がトレードオフになることに注意が必要です。mlit.go.jp
- 高度処理(リン資源化を含む/特殊物質対策)
- 高度処理の選択肢には化学凝集+急速ろ過、膜分離、化学析出(HAP法・MAP法)などがあり、リンの資源化技術としてはHAP・MAP・灰アルカリ抽出・部分還元溶融が主要な実用技術として整理されています。mlit.go.jp
- 代表的性能(手引きより):
- HAP法:返流水や脱水ろ液を対象に、原水PO4-Pに対し約80%の回収(製品はヒドロキシアパタイト)。mlit.go.jp
- MAP法:消化脱離液等を対象に、サイクロン併用で70%程度の回収、回収物はリン酸マグネシウムアンモニウム(MAP)で肥料原料として評価される。mlit.go.jp
- HAP法:返流水や脱水ろ液を対象に、原水PO4-Pに対し約80%の回収(製品はヒドロキシアパタイト)
- PFAS 等の難分解性化学物質について:PFASは下水処理場における中長期課題で、RO・イオン交換・吸着(活性炭)など濃縮手法とその濃縮廃棄、あるいは分解技術の開発が検討課題とされます。現時点での課題は「実態把握→処理法の適用・残渣の扱い」であり、分析・連続モニタ技術やコスト低減が不可欠と指摘されています。nedo.go.jp
- 意味:高度処理は放流水質向上だけでなく、リンを「廃物」から「資源」に変えるステージでもある。ただし、いずれの資源化技術も規模・原水特性(SS、Fe薬剤の使用有無等)や市場価値に左右され、導入判断は技術的妥当性だけでなく流通性・採算性の精査が必要です。mlit.go.jp
- 汚泥処理の流れ:濃縮 → 嫌気性消化 → 脱水 → 焼却(または固形燃料化)
- 概要:水処理で発生した余剰汚泥は濃縮され、嫌気性消化(メタン発酵)で減量とメタン生成を行い、脱水して焼却または資源化に回される。kendenkyo.or.jp
- 意味:消化は汚泥量削減と同時に「エネルギー源(消化ガス)」を生むため、下水道のカーボン・エネルギー戦略の中心となる。mlit.go.jp
- 数値例:下水汚泥が持つ有機エネルギーは理論的に大きく、日本全体での創エネポテンシャルは下水道分野の消費電力を超える試算がある(詳細は国土交通省資料)。mlit.go.jp
- 消化ガス発電(エネルギー回収)
- 現状と効果:消化ガス(メタン約60%、CO2約40%)はガスエンジン等で発電に利用され、処理場の電力需要を大幅に低減し得る(事例では処理場電力の20〜30%を賄う例がある)/tokyo.lg.jp。kendenkyo.or.jp
- 東京都の事例:森ヶ崎水再生センターでは過去の事業で年間約2千万kWhを発電し、最新の計画では年約3,200万kWh(施設全体の約3割相当)を見込む計画がある。tokyo.lg.jp
- 意味:消化ガス発電は温室効果ガス削減(再エネ化)とランニングコスト低減に寄与する。言い換えると、汚泥は“処分コスト”から“事業収入・コスト削減要因”に転換できる潜在性を持つ。mlit.go.jp
- 焼却灰の処理とリン回収(灰アルカリ抽出法、部分還元溶融等)
- 現状の選択肢:焼却灰からリンを抽出してリン酸カルシウム等を作る灰アルカリ抽出法、あるいは還元溶融でリン含有スラグを生成する部分還元溶融法などが実用化/検討されている。mlit.go.jp
- 代表事例(岐阜市):焼却灰を水酸化ナトリウムで抽出し消石灰で析出してリン酸カルシウムを回収、製品はP2O5 約30%の副産りん酸肥料として生産されている事例がある(年間生産量や収支試算も提示され事業化の可能性が示されている)。mlit.go.jp
- 新しいアプローチ(消化汚泥中の自然発生MAP回収):嫌気性消化汚泥中に自然発生するMAP粒子を物理的に分離し回収する手法が実証され、薬品不要で回収コストを大幅に下げる可能性が報告されています。パイロットでMAP回収率90%以上、回収コストは22.3円/kgと既存方式(約101.3円/kg)と比較して大幅なコスト低減が示されています(実証は複数現場で進行中)https://www.jstage.jst.go.jp/article/sigen1995/52/4/52_4_172/_pdf。
- 意味と制約:リン回収は技術的可能性だけでなく製品品質(着色、有害物質)・流通(肥料メーカーの受容性)・規模の経済(大量生産が使いやすい)に依存します。言い換えると、技術で回収できても「売れる製品」にしなければ事業として成立しない点が最も大きな壁です。mlit.go.jp
図解(参考):下水処理〜汚泥処理〜リン回収の主要フロー(出典:高度処理ナレッジ集)

総合的な洞察と実務的示唆
- 下水処理は「水処理」と「汚泥処理(資源化・エネルギー回収)」が車の両輪。放流水質規制対応だけでなく、リン回収・消化ガス発電は中長期的に下水道の財務・環境パフォーマンスを変える可能性がある。mlit.go.jp
- リン資源化については、技術選択(HAP・MAP・灰抽出・溶融)は処理場のスケール、原料(返流水・脱水ろ液・焼却灰)、および最終製品の流通先に応じて決める必要がある。費用対効果の評価では建設費・維持費に加え製品販売価格の見通しが肝心で、自治体単独での事業採算性確保は容易ではないことが手引きで示されている/mlit.go.jp。mlit.go.jp
- PFAS や難分解有機物は下水処理系単体では対処が難しく、排出源での前処理・分離や高度処理(吸着・RO・高度酸化/分解技術)の組合せ、濃縮残渣の管理が不可欠であり、現場での実態把握・連続モニタリングと技術開発が優先課題である。nedo.go.jp
最後に、半導体排水と比較して自治体下水道の全体像を工程ベースで整理すると、自治体側は「(1)一次除去で粗性物質を落とす→(2)活性汚泥で有機負荷を削る→(3)A2O等でN/Pを制御→(4)高度処理・資源化でリンや微量汚濁物をターゲットにする→(5)汚泥は消化で減量・エネルギー回収→(6)焼却灰は資源化検討→(7)得られた資源・エネルギーは地域循環に組み込む」という系統的な7工程フローになります。各工程は技術的・経済的トレードオフがあり、特に「リン資源化」と「難分解物質(PFAS 等)」の扱いは今後の下水道政策・投資判断の焦点と考えられます//https://www.jstage.jst.go.jp/article/sigen1995/52/4/52_4_172/_pdf。
mlit.go.jp
mlit.go.jp
参考(本文で参照した主な資料)
- 第2回 下水道におけるリン資源化検討会(資料)mlit.go.jp
- 下水道におけるリン資源化の手引き(国土交通省)mlit.go.jp
- 高度処理ナレッジ集(国土交通省)mlit.go.jp
- 下水汚泥からのリン回収プロセスの開発(J-STAGE 論文)https://www.jstage.jst.go.jp/article/sigen1995/52/4/52_4_172/_pdf
- 下水汚泥のエネルギー利用(日本下水道協会)jswa.jp
- 消化ガス発電システムの導入等(環境省)env.go.jp
- 高PFAS含有排水の処理・分解・無害化・計測(NEDO まとめ)nedo.go.jp
必要であれば、上記を踏まえ「半導体排水側の工程と自治体側との接点(どこで前処理すべきか、監視濃度の閾値設定、リン/PFAS等の荷重を模型化する手法)」について、工程対応表(半導体排水工程側と下水道側を横並びで比較)を作成します。希望があれば、処理技術別の費用レンジや導入条件の詳細(尺度:処理水量・濃度別)も提示します。どちらをご希望ですか。
🏷新興課題と先端対策: PFAS除去(GAC/IX/RO/AOP)とAI/IoT最適運転、B-DASH実証動向
新興課題と先端対策: PFAS除去(GAC/IX/RO/AOP)とAI/IoT最適運転、B-DASH実証動向
半導体工場排水と公共下水処理は、目的(産業有害物質の個別除去 vs. 大量低濃度の一般汚濁物管理)や排水組成の差異から、同じ「7工程」の枠組みでも採るべき技術や優先順位が大きく異なります。本節では、工程ベースで両者を比較しつつ、特にPFAS(および近年の注目物質であるフッ素化合物)、TMAH 等の半導体特有課題への対応として実用的な処理列(GAC/IX/RO/AOP の組合せ)、運転最適化における AI/IoT の実装例、さらに国の実証(B‑DASH)や研究開発の近況を、出典を示しながら整理・考察します。
概観(要点)
- PFAS に対しては、活性炭(GAC/PAC)やイオン交換(IX)、逆浸透(RO)、高度酸化(AOP)を組合せる「カスケード」的運用が現実的かつ有効であるとされる。短鎖を含むPFASの高除去は RO で特に高い報告がある一方、吸着で高除去が得られる例もあるため、原水特性と運用性で選択される。jwrc-net.or.jperca.go.jp
- 実都市スケールの実証で、PFAS濃度を大幅に低減(例:静岡市の実証で最大96%以上の低減)した事例が報告されており、実運転での適用可能性が高まっている。shizuoka.lg.jp
- 半導体排水では TMAH、フッ化物、溶媒系や高有機負荷など「個別性の強い高濃度汚染」が問題となるため、前処理(分離・中和)→濃縮→高度処理(RO/IX/AC/AOP)→濃縮廃棄のワークフローが実務的である。ただし、TMAH に関する工程毎の詳細な数値や最適条件は本調査で与えられた資料内に限定的な記述しかないため、設計には実排水データでのパイロット検証が不可欠である(TMAH 固有対策に関する一次資料の深掘りを推奨)。
- 運転最適化では、AI による膜ファウリング予測や送風量最適化などが実用化段階にあり、RO や MBR を含む運転でのコスト低減と安定化に寄与することが示されている。hitachihyoron.commlit.go.jp
- 国・自治体レベルでは、B‑DASH のような実証/普及支援枠組みが多様な革新技術(省エネ、汚泥資源化、ICT/AI制御など)を実装する場を提供しており、下水道分野での実証事例や適用ガイドラインが公表されている。mlit.go.jpmlit.go.jp
7工程ベースの比較(工程ごとに半導体排水と公共下水の相違点と実務的示唆)
- 分離・受入(源分離、前処理)
- 半導体: 製造プロセスからの高濃度・特定化学物質(TMAH、フッ素化合物、溶媒等)が混在するため、工場内での源分離・中間貯留・濃縮が第一選択となる。高濃度排水は連続処理よりバッチ処理や濃縮前処理が現実的と考えられます(ただし、TMAH に関する詳細は本資料群で限定的な記述のため、現場データでの検証が必要)。
- 公共下水: 流入は大量かつ希薄で、雨水希釈や多様な有機・栄養が混在するため、まずはスクリーン・沈砂等の一般的分離を行い、後続の生物処理に適する負荷にすることが優先される。
(示唆)半導体では源管理で処理費用を大きく低減できるため、工程設計における「工場側での分離・濃縮」を強く推奨。
- 中和・化学凝集(無機フッ素の処理を含む)
- 半導体: フッ化物(F−)やアルカリ性化合物の pH 制御・凝集沈殿が必要になることが多く、凝集沈殿で固相へ移行したフッ素や一部有機結合フルオロ成分は後続処理で扱う。具体的工程条件は排水特性に依存。
- 公共下水: 含有率が低い場合は一括生物処理で十分なことが多いが、特定有害物質がある場合は薬注での補正が必要。
(出典)PFAS を含む有機フッ素化合物は凝集・活性炭での処理効果に差があり、処理法の組み合わせで高除去が可能であると示されている。erca.go.jp
- 油・溶媒分離、有機高負荷の事前処理
- 半導体: 溶媒や界面活性剤、TMAH のような極性有機物は油水分離や溶媒回収、蒸発濃縮等で前処理することが実務的。これにより後段の膜や吸着材の負荷を低減できる。
- 公共下水: 通常は油分・粗大有機を分離した後に生物処理へ。
(示唆)半導体排水の「有機の性状(親水/疎水/揮発性)」を詳細に測ることが、後段技術(RO/AC/AOP/IX)の適合性を決める鍵となる。
- 生物学的処理(活性汚泥等)/代替(化学的高度処理)
- 半導体: 多くの工場排水は生物処理に向かない高濃度・毒性物質を含むため、生物処理を主軸にすることは少なく、化学的または物理的高度処理に重点が置かれる場合が多い。
- 公共下水: 活性汚泥やA2Oなどの生物処理が中核で、省エネ化や運転最適化が注力される。mlit.go.jp
- 吸着(GAC/PAC)・イオン交換(IX)
- PFAS に対しては、粉末・粒状活性炭やイオン交換が現場導入で頻用される。資料集では、複数条件で PFOS/PFOA 等は活性炭で 90%超の除去が得られた例があること、吸着の性能は投与量・粒度・接触時間に依存する旨が整理されている。jwrc-net.or.jp
- 実践では、活性炭(吸着)を第一段、イオン交換で更に除去という組合せも取られる。短鎖 PFAS の除去は吸着単独だと難しい場合があるため、後段で膜や AOP を入れることが多い。
- 膜分離(UF/RO)と AOP(高度酸化処理)
- RO は短鎖を含む PFAS に対しても非常に高い除去率(平均 99%超)が報告されており、特に短鎖 PFAS の処理で有力な選択肢となる。ただし濃縮ブロミネートや廃棄物の発生と運用コスト(高圧・膜洗浄)が課題である。erca.go.jp
- AOP(オゾン/UV/H2O2 等)は PFAS を完全分解するには条件が厳しく、単独での安定的な完全分解は容易ではないが、前処理としての有機物分解や吸着材の再生などで併用されるケースがある。NEDO の開発課題としても「分解・無害化技術(高温処理、電気・プラズマ等)」が重要視されている。nedo.go.jp
- ここまでを言い換えると、PFAS 対策は「吸着で除去して濃縮→RO でさらに捕捉→AOP・熱等で分解(研究開発段階)」というカスケードが現実的と考えられます。jwrc-net.or.jperca.go.jpnedo.go.jp
- 濃縮残渣・スラッジ処理と最終処分(再生・廃棄)
- PFAS 等を吸着・膜で濃縮した後の残渣は、単に埋立てるだけでは長期リスクが指摘されるため、分解(高温処理、炭化、埋立の安定化)や安全な最終処分方法の確立が重要であるとされる。廃棄物としての取り扱い規制や二次利用禁止の検討事項が研究課題としてあげられている。nedo.go.jperca.go.jp
- 公共下水では汚泥管理と焼却・埋立の規制、再生利用の観点が重要になる。B‑DASH などで提示される汚泥資源化技術は、これらの課題解決に資する技術群である。mlit.go.jp
運転最適化:AI/IoT の役割と実装例
- AI による膜透過流束の予測やファウリング予測、送風制御の最適化などにより、運転コスト低減と運転安定化が実現されつつあります。日立の事例では、RO の透過流束を約6時間前に予測して洗浄間隔を延長することで、洗浄回数削減や運転コスト低減が期待されると報告されています。hitachihyoron.com
- 下水処理場の実証例やガイドラインでは、AI は「熟練者の暗黙知をデータ化」し、運転ガイダンスや一部自動制御による省エネ・水質確保に使われることが一般的であると整理されています。(示唆)半導体系プラントでも、膜系や吸着塔の運転状態をオンラインで監視し、AI が最適な洗浄・切替タイミングを提案するワークフローは有効で、膜寿命延長や薬剤/砕炭運用最適化に直結します。mlit.go.jphitachihyoron.com
B‑DASH と実証動向(公共側の支援枠組み)
- 国土交通省の B‑DASH プロジェクトは、下水道分野での革新的技術を実規模で実証し、普及に向けたガイドラインや導入事例を整備しています。AI/ICT を活用した運転制御や汚泥資源化、省エネ型処理など多数の技術が採択・公開され、自治体側の導入判断を支援する枠組みになっています。mlit.go.jp(示唆)半導体排水の高度処理技術を自治体下水処理・産業排水共同処理で扱う場合、このような実証プラットフォームやガイドラインを参照して、スケールアップ・コスト算定・合意形成を図ることが現実的です。mlit.go.jp
具体的な処理列(半導体向けの実務的な勧め)
- 推奨のトリートメント・カスケード(概念)
- 工場内での源分離・貯留(高濃度バッチ回収)
- 前処理:油・溶媒分離、微粒子除去、pH 調整・中和
- 濃縮(必要に応じ蒸発濃縮や膜前処理)
- 吸着(GAC/PAC)または IX(選択性が求められる場合)
- RO(短鎖を含む PFAS の高除去段)+濃縮回収
- ポリッシング/分解:AOP や熱処理(研究課題。完全分解は技術的・経済的ハードルが残る)nedo.go.jp
- 濃縮残渣の安全処分または高温分解等による無害化(技術的検討が必須)
- これらの各段階で、AI/IoT による運転最適化(吸着材交換時期の判定、膜洗浄タイミング、薬注自動制御)を組み込むことで、運転コストとリスクを同時に低減できると考えられます。hitachihyoron.commlit.go.jp
実証例と信頼性(エビデンス)
- 静岡市のポンプ場実証で PFAS を最大96%超低減した報告は、現場スケールでの高除去が可能である有力な実証例です(個別の処理構成や原水条件はレポート参照のこと)。shizuoka.lg.jp
- 学術・行政系の総合報告では、活性炭や RO の組合せが短鎖・長鎖双方に対して高い除去率を示す一方、捕捉した PFAS の最終処理(分解・無害化)が未だ重要な課題として繰返し指摘されています。erca.go.jpjwrc-net.or.jp
図解(処理カスケード)
参考画像(実証・制度情報参照)

結論と実務的提言(ユーザー向けアクション)
- まず実排水データ(TMAH、総フッ素、個別 PFAS 種、TOC、塩分、金属等)を高精度で把握してください。設計と技術選定はこれがないと確度が上がりません(PFAS の短鎖/長鎖比や有機負荷が処方を決めます)。関連の分析法改善や継続モニタリングも重要です。erca.go.jpnedo.go.jp
- PFAS 対策は「吸着→膜→(必要に応じて)分解」のカスケードが現行現場での実効性が高く、静岡市の実証のように大幅削減が可能です。まずは小規模パイロット(GAC ± IX ± RO の組合せ)で運用性と残渣発生量を確認してください。shizuoka.lg.jpjwrc-net.or.jp
- 濃縮残渣の扱い(分解 or 安定化)を処理設計と同時に計画してください。捕捉した PFAS をただ埋め立てることは長期リスクにつながるため、NEDO 等が指すように高温分解や炭化技術の検討を並行実施するのが望ましいです。nedo.go.jp
- 運転最適化には AI/IoT が即効性のある投資効果をもつ可能性があります。特に膜運転(ファウリング予測・洗浄最適化)や吸着材運用最適化は ROI が見込みやすい分野です。既存の実証事例や自治体の B‑DASH 情報を参考に、FS → 実証のスキームを組むとよいでしょう。hitachihyoron.commlit.go.jp
最後に注意点:本節で引用した一次資料は PFAS 処理や下水道の AI 実証等に関する公的・学術的な報告を根拠としていますが、TMAH や個別フッ化物の工程別最適条件については、今回提供された資料群で詳細な数値設計が乏しいため、工場側の実測データと小規模パイロットによる最適化を必ず行ってください。必要であれば、TMAH に特化した文献や半導体メーカー/装置ベンダーの排水規格資料を追加で探索し、工程別設計案を具体化します。
🏷工程ベース比較と導入指針: 適用条件・回収価値・水再利用・コスト/運用性の要点
半導体と下水道の排水処理を7工程で比較: フッ素・TMAH・PFAS対応の全体像 — 工程ベース比較と導入指針
半導体産業の排水と公共自治体(下水道)の排水は、処理対象物質、流量・濃度、求められる処理後水質、資源回収の狙い、運用・コスト制約が大きく異なります。本節では「工程を7段階に整理」して、各工程での典型的技術、半導体と公共の違い、適用条件、回収価値(水再利用も含む)、コスト/運用性の観点から比較・考察し、導入判断に役立つ実践的指針を提示します。出典は本文中に明記します。
(工程の要約)
1)分離・分流(発生源管理)
2)前処理(中和・粗泥除去・凝集)
3)選択的回収処理(有価物・有害成分の回収/捕捉)
4)生物学的/化学的有機物・栄養塩処理
5)高度処理(膜、吸着、酸化など)
6)最終処理・安定化(消毒、汚泥処理、固形化)
7)水質管理・再利用・運用最適化(モニタリング、AI、BCP)
2)前処理(中和・粗泥除去・凝集)
3)選択的回収処理(有価物・有害成分の回収/捕捉)
4)生物学的/化学的有機物・栄養塩処理
5)高度処理(膜、吸着、酸化など)
6)最終処理・安定化(消毒、汚泥処理、固形化)
7)水質管理・再利用・運用最適化(モニタリング、AI、BCP)
以下、各工程ごとに「半導体(例:フッ酸・TMAH・PFAS含有の排水)」と「公共下水(大量低濃度の有機物・窒素・リン)」を対比し、実務的示唆を述べます。
1)分離・分流(発生源管理)
- 事実:半導体工場ではプロセス毎に強酸・強アルカリや高純度有機溶媒などが発生し、排水は“少量高濃度”であることが多い。一方、下水道は多数の家庭・事業所由来の“大量低濃度”流入で処理場全体での管理が必要とされる(半導体分野の節水・回収の実例は総説で整理されている)、公共分野の運用・計画指針はMLITの高度処理ナレッジ集などで示されていますkinki-shasej.org。mlit.go.jp
- 意味・示唆:源での分離・分流は最も費用対効果が高く、半導体ではプロセス別に危険成分を分流して専用処理へ回すことが優先されます。公共では事業系負荷の分離や産業排水の個別処理指導が有効です。
2)前処理(中和・粗泥除去・凝集)
- 事実:半導体排水は酸性・アルカリ性が極端な場合があり、中和や金属沈殿が前提となる。公共処理では凝集・沈殿やスクリーン、格子などによる固液分離が標準です(高度処理ナレッジ集に各施設の前処理設計例あり)。mlit.go.jp
- 意味・示唆:半導体側は前処理でpH調整と金属・フッ素の前段階除去をきちんと行うことで、後段の回収プロセス(晶析等)の効率が上がります。公共は大流量に対する耐久性と維持管理性を重視する設計が重要です。
3)選択的回収処理(有価物・有害成分の回収/捕捉)
- 事実(半導体):オルガノの晶析によるフッ素回収技術「エコクリスタ」は、フッ酸を含む廃液から純度95%以上のフッ化カルシウム(人工蛍石)を回収し、フッ酸原料として再利用される事例がある(企業間連携で実運用、資源循環分野で評価を受けている)organo.co.jp。organo.co.jp
- 事実(公共):リン資源化は下水分野で重視され、HAP/MAP法や灰アルカリ抽出法など、既に肥料実用化が見込まれる技術群が手引きで整理されている(下水処理場の特性把握→技術マッチング→品質管理が重要)mlit.go.jp。mlit.go.jp
- 意味・示唆:選択的回収は“価値回収”が期待できる半面、装置・運用に専門性が必要です。半導体のフッ素回収は回収物が工業原料として直接価値化できるため、CAPEX回収の見込みが立ちやすいと考えられます(実際の事例で原料引取実績あり)。公共分野のリン回収は流量・品質の変動に対応する運用と、回収物の製品化・流通(地産地消 vs 広域流通)検討が収益性に直結しますorgano.co.jp。mlit.go.jp
4)生物学的/化学的有機物・栄養塩処理
- 事実(公共):下水処理では嫌気・脱窒・硝化などのプロセスや、嫌気好気運転を用いたリン除去の運転方法が数多く実務で採用されている(高度処理ナレッジ集に実例)。グラニュール技術を用いた高速窒素処理は、従来比3~5倍の高速処理を実現した事例として報告されているmlit.go.jp。organo.co.jp
- 事実(半導体):半導体排水では有機物負荷は相対的に小さいことが多く、代わりに酸・アルカリ・溶媒が主な課題であるため、通常の活性汚泥プロセスは必須でない場合がある(業界節水・回収概説)。kinki-shasej.org
- 意味・示唆:公共は生物処理が処理の“骨格”であり、維持管理・エネルギー効率が重要。半導体は化学的処理や物理的分離(晶析、蒸留、膜)で“汚れの質”を変換し、再利用可能な純水を得る設計が一般的です。
5)高度処理(膜、吸着、酸化など)
- 事実(半導体):超純水のために逆浸透(RO)、EDI(電気再生式脱塩)、ROの閉塞対策や高回収率化(オルトリアUCで55%→80%へ改善)などが実装され、純水の再生利用や節水に寄与しているorgano.co.jp。organo.co.jp
- 事実(公共):下水再生の高度処理としてUFろ過+紫外線消毒などによる再生水利用も実証・導入が進んでいる(B-DASHプロジェクト等での採択実績多数)mlit.go.jp。mlit.go.jp
- 意味・示唆:膜系は高品質処理と小スペースという利点があるが、運用(膜目詰まり、薬剤管理、運転コスト)が重要。半導体は高付加価値用途向けに膜+EDI等を組合せるのが合理的です。公共は大量処理での膜適用はスケール・ランニングコストの評価が必須です。
6)最終処理・安定化(消毒、汚泥処理、固形化)
- 事実(公共):汚泥資源化(焼却灰からのリン回収等)、エネルギー化(バイオガス利用)など下水汚泥のバリューチェーン化が国のガイドラインや実証事業で推進されているmlit.go.jp。mlit.go.jp
- 意味・示唆:公共は最終スラッジの処理と循環利用が重要な収益源/環境負荷低減手段になります。半導体は危険性あるスラッジや結晶化残渣の扱いが厳しく、専用の産廃管理と回収ルート確保が必須です(エコクリスタ事例では回収物の産業利用ルートが鍵)。organo.co.jp
7)水質管理・再利用・運用最適化(モニタリング、AI、BCP)
- 事実(公共):AIやICTを用いた運転最適化や広域監視制御、AI導入ガイドライン・実証事例の整備が進んでいる(MLITの取り組み資料)mlit.go.jp。B-DASHによる革新的技術の実証も多数行われ、導入可能性の評価やガイドライン提供が進展しているmlit.go.jp。mlit.go.jp
- 意味・示唆:公設処理場はスケールメリットを活かしセンター運転最適化や再生水の社会実装を進める余地があり、AIは水質基準逸脱の予防や省エネ評価に有用です。半導体側では連続的な品質保証(トレース、監査対応)が必要で、運転可視化と厳格な処理履歴管理が求められます。
PFAS・TMAHに関する注意点(情報ギャップと初期方針)
- 事実:提供されたオルガノのCSR報告書にはPFAS対策技術に関する情報は含まれていない旨が明記されています。また、当レポート群にTMAH処理の具体技術記載は確認できませんでした(半導体節水・回収概説は一般論に留まる)organo.co.jp。kinki-shasej.org
- 示唆:PFASやTMAHは化学的性質が特殊で、PFASは一般に吸着(活性炭、イオン交換)や高エネルギー処理(高度酸化、熱分解)等を組合せることが多いが、本調査での一次出典がないため、具体技術の選定には追加の専門調査(文献レビュー・実試験)が不可欠です。まずは現状負荷の定量評価と発生源分離を行い、次段で実証スケールの処理(パイロット)を設計することを推奨します。
導入判断・実務的指針(要点と優先順位)
-
半導体事業者向け優先事項
- まず源流での分離・中和等を徹底し、危険物を集約化して専用処理ラインへ回す(これにより危険廃棄物量と処理コストを低減できる)。kinki-shasej.org
- フッ素のように回収可能で市場価値がある成分は、晶析等の選択的回収を検討する(実運用事例:エコクリスタ)。organo.co.jp
- 高純度水が必要ならRO+EDI、膜系の高回収運用(設備設計段階で回収率・薬剤・洗浄の最適化)を検討する(RO回収改善事例あり)。organo.co.jp
- PFAS/TMAHは必ず現況分析→パイロット→規制・処理基準の確認の順で進める。
- まず源流での分離・中和等を徹底し、危険物を集約化して専用処理ラインへ回す(これにより危険廃棄物量と処理コストを低減できる)
-
公共自治体向け優先事項
- まずは処理場の特性把握・目的設定(放流水質、再利用用途、エネルギー目標)を行い、それに基づき段階的な高度化(リン回収、下水熱利用、膜処理等)を選択する(ガイドライン・実証事業多数)mlit.go.jp。mlit.go.jp
- リン資源化はHAP/MAP等の技術と流通計画を組合せて事業化検討を行うべきで、手引きに沿った品質管理・事業性評価を実施することが重要である。mlit.go.jp
- AI・ICTを段階導入し、運転電力最適化や水質逸脱予測を行うことで運用コストと規格逸脱リスクの低減が期待できる(MLIT資料に評価指標や実証の指針あり)。mlit.go.jp
- まずは処理場の特性把握・目的設定(放流水質、再利用用途、エネルギー目標)を行い、それに基づき段階的な高度化(リン回収、下水熱利用、膜処理等)を選択する(ガイドライン・実証事業多数)
費用・運用性の実務観点
- 単位コストは「流量当たりの濃度」や「回収物の市場価値」で大きく変動します。半導体の少量高濃度排水はユニット処理費用が高くなりがちですが、回収して売買できれば投資回収が可能(フッ素の事例)。organo.co.jp
- 公共は規模の経済で単位処理コストを抑えつつ、再生水利用・汚泥エネルギー化など長期の運用収支を勘案する必要がある(B-DASH等の補助枠やガイドライン活用が有利)mlit.go.jp。mlit.go.jp
簡易フローチャート(工程7段)
(図は工程の概念図。現場設計ではフローの枝分かれや並列処理が発生します。)
画像(概念図)
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結論と推奨アクション(実務チェックリスト)
- まず現況負荷調査(流量・濃度・成分分析)を行う。特にPFAS・TMAHの有無は専用分析が必要であり、本調査では当該技術情報が不足しているため追加調査を推奨するorgano.co.jp。kinki-shasej.org
- 半導体なら「源流分離→選択的回収(晶析等)→膜系での精製→EDI等で超純水化」の順で検討し、回収物の引取先・市場性を事前に確保する(エコクリスタの事例を参照)organo.co.jp。organo.co.jp
- 公共は「施設特性把握→段階的高度処理(リン回収・下水熱・膜)→AIによる運転最適化」の組合せで費用対効果を評価する。B-DASH等の実証・ガイドライン参照が有益であるmlit.go.jp。mlit.go.jp
- PFAS・TMAHの処理技術選定は、まずは現況分析→ラボ・現場パイロット→規制適合の順で進める。PFASについては本調査資料に明確な技術記載がないため、専門文献・技術実証の追加収集を行ってください。organo.co.jp
最後に:本セクションは提供された資料群(オルガノCSR報告書群やMLITの高度処理ナレッジ集/B-DASH関連資料等)を基に整理・考察しました。各工程や技術の採用可否は現場の流量・濃度・用途・規制状況・回収物の市場条件で大きく左右されます。PFASやTMAHのような特殊化学物質の処理については、今回の資料では情報が不十分なため、具体的技術導入を進める際は追加の技術評価とパイロット検討を強く推奨します。
organo.co.jp
mlit.go.jp
出典(抜粋)
- オルガノ CSR REPORT 2019: 製品・技術(フッ素回収「エコクリスタ」、MBR、RO/EDI等)organo.co.jp
- オルガノ CSR REPORT 2018: エコクリスタ事例、技術説明(PFAS記載なし)organo.co.jp
- MLIT 高度処理ナレッジ集(下水処理の設計・運転事例、リン除去等)mlit.go.jp
- MLIT 下水道革新的技術実証事業(B-DASH)ページ(実証技術・ガイドライン)mlit.go.jp
- 下水道におけるリン資源化の手引き(HAP/MAP等の技術と事業化手順)mlit.go.jp
- 半導体工場で進む節水技術(総説、排水回収の分類)kinki-shasej.org
追加で、PFAS/TMAHの具体的処理技術とコスト試算、あなたの対象施設の現況(流量・成分データ)を教えていただければ、より具体的な工程設計案(技術選定、概算CAPEX/OPEX、パイロット計画)を提示します。
🖍 考察
ユーザーの入力は「半導体の排水処理技術と公共自治体の排水処理技術の全体像を工程ベースでまとめてください。」というものです。調査結果では、非常に詳細な情報が提供されています。主な内容は:1. 半導体排水処理の特性(フッ素、TMAH、PFAS等の処理) 2. 公共下水処理の工程(初沈、活性汚泥、A2O、高度処理等) 3. 7工程での比較フレームワーク 4. 工程別の具体的技術(フッ酸系、CMP、TMAH/IPA等) 5. 新興課題(PFAS対応、AI/IoT活用) 6. 全体的な比較と導入指針これらを調査結果から独自の考察を行いつつ、要求された構成(調査の本質、分析と発見事項、より深い分析と解釈、戦略的示唆、今後の調査)で整理する必要があります。構成は以下のように考えます:### 調査の本質 - 依頼者のニーズは何か - どのような価値提供が可能か - 真のニーズの探求### 分析と発見事項 - 調査結果の多角的分析 - 半導体と公共の違い - 工程別特徴 - 技術的発見### より深い分析と解釈 - なぜそのような違いが生じるのか- 隠れたパターンや意外な事実の背景には、技術的複雑性と産業特性の深い相互作用がある。 - 処理プロセスの矛盾や想定外の結果は、環境規制、技術革新、経済的制約の複合的影響を示唆している。### 戦略的示唆 - 具体的な実践的アプローチとして、技術融合と段階的導入が重要 - 短期的には既存技術の最適化、中長期的にはAI/IoT技術の積極的な統合 - 具体的アクションは、技術評価、パイロットプロジェクト、継続的な性能モニタリング### 今後の調査 - PFAS除去技術、次世代排水処理イノベーションの詳細調査が必要 - 環境技術の継続的モニタリングと最新トレンド分析 - 産業間技術移転の可能性と長期的な持続可能性戦略の探求
調査の本質
本調査の依頼は、半導体産業と公共自治体という異なる分野の排水処理技術を工程ベースで体系的に理解したいというニーズに基づいています。この要求の背景には、両分野の排水処理における技術的相違点と共通点を把握し、技術移転や協働の可能性を探る意図があると考えられます。
半導体産業では製造プロセスの高純度化要求と特殊化学物質(PFAS、TMAH、フッ素化合物)の処理が喫緊の課題となっており、一方で公共下水処理は大量処理と資源回収(リン回収、エネルギー回収)の両立が求められています。これらの課題に対して、工程を7段階に整理することで、技術選択の論理と最適化ポイントを明確化し、実務判断に資する価値を提供することが本調査の本質的目的です。
分析と発見事項
処理対象物質の根本的相違
調査結果から、半導体排水と公共下水の最も顕著な違いは処理対象物質の性質にあることが判明しました。半導体排水は「少量高負荷」でフッ素(F⁻)、TMAH、PFAS等の特定有害物質を高濃度で含む一方、公共下水は「大量低濃度」で有機物、窒素・リン、病原性微生物が主要な処理対象となっています。
工程設計思想の対比
半導体排水処理の工程設計は「源分離→選択的回収→高度精製」というカスケード型アプローチを採用しており、工程別に以下の特徴があります:
- フッ酸系:凝集沈殿+吸着による段階処理で、では15mg/L→2mg/Lの高除去を実現awi.co.jp
- CMP排水:セラミック膜による高濃縮・高回収(99%近い回収率)でNGK製品が実用化
- TMAH処理:濃縮→熱分解または嫌気分解の二段戦略で、では80%以上の吸着効率unichemy.co.jp
公共下水処理は「初沈→活性汚泥→高度処理→汚泥処理」という標準化されたフローで、に示される通り、大容量連続処理と栄養塩除去に最適化されています。
mlit.go.jp
新興技術と課題の発見
PFASに対しては、活性炭(GAC)、イオン交換(IX)、逆浸透(RO)、高度酸化(AOP)のカスケード処理が有効で、では最大96%の除去を実現しています。しかし、分解・無害化技術はにある通り、高温・高エネルギーを要し、コスト面での課題が残存しています。
shizuoka.lg.jp
nedo.go.jp
より深い分析と解釈
技術選択の根本原理
なぜ半導体と公共で異なる技術アプローチが採用されるのか。これは「価値密度」の概念で説明できます。半導体排水は単位体積あたりの価値密度(処理による付加価値/環境リスク低減効果)が極めて高く、高コスト技術の採用が正当化されます。一方、公共下水は価値密度が相対的に低いため、規模の経済を活かした標準技術による効率化が重視されます。
隠れた協働可能性
興味深い発見として、両分野の技術的補完性が確認できました。半導体側の選択的回収技術(によるフッ素回収)と公共側のリン資源化技術()は、いずれも「廃棄物の資源化」という共通思想を持ちます。これは、産業排水の前処理と公共処理の後段資源化を組み合わせた地域循環システムの可能性を示唆しています。
organo.co.jp
mlit.go.jp
運転最適化の収束点
AI/IoTによる運転最適化では、両分野がやに示されるような共通基盤技術を採用しつつあります。これは、技術の成熟化により分野を超えた標準化が進行していることを意味します。
hitachihyoron.com
mlit.go.jp
コスト構造の逆転現象
従来「高コスト」とされた膜技術や選択的回収技術が、規制強化(PFAS規制等)と資源価格上昇により「必要投資」から「収益源」へ転換する現象が観察されます。これは排水処理業界のパラダイムシフトを示唆する重要な変化です。
戦略的示唆
短期的対応戦略
半導体事業者向け:
- 工程分離の徹底による処理負荷低減(最も費用対効果が高い施策)
- フッ素等の有価物回収システム導入による投資回収
- PFAS対応のための吸着→膜→AOP のカスケード設計
公共自治体向け:
- 産業排水の源流管理強化と事業者指導
- 段階的高度処理導入(リン回収、消化ガス発電)
- AI/IoT による運転効率化
中長期的戦略方針
共通プラットフォーム戦略: 両分野で共通する膜技術、AI運転制御、分析・監視技術について、地域レベルでの技術共有プラットフォーム構築が有効です。これにより導入コスト削減と技術習熟の加速が期待できます。
循環型処理システム: 半導体工場での高度前処理と公共処理場での資源回収を連携させた地域循環システムの構築により、処理効率とエネルギー回収の最大化を図ることができます。
リスク対策と事業継続性
PFAS規制の世界的強化を踏まえ、「除去→濃縮→高温分解または安定化処分」の技術体系確立が急務です。特に濃縮残渣の処理ルート確保は、技術導入の成否を決する重要要因となります。
今後の調査
追加調査が必要なテーマ
- TMAH処理技術の詳細検証: 本調査では限定的な情報しか得られなかったため、濃縮→分解工程の最適条件とコスト構造の詳細分析
- PFAS の種別対応技術マトリクス: 短鎖・長鎖別、用途別の最適処理技術選択指針の策定
- 地域協働型処理システムの事業性評価: 半導体工場と公共処理場の連携による統合処理システムの経済性分析
- AI運転制御の標準化指針: 膜運転、吸着材交換、薬注制御等の AI適用ベストプラクティスの体系化
- 濃縮残渣処理ルートの制度設計: PFAS含有廃棄物の安全処分・リサイクル制度の国際比較と政策提言
継続的モニタリングのポイント
- 規制動向:PFAS規制の対象拡大と基準値変更の追跡
- 技術実証:等の実証成果と普及状況mlit.go.jp
- 市場価格:回収物質(フッ素、リン等)の市場価格動向と採算性変化
- エネルギー効率:消化ガス発電、膜運転等のエネルギー収支改善動向
中長期的な展望と課題
今後10年間で、排水処理は「処理・処分」から「回収・循環」へのパラダイムシフトが本格化すると予想されます。この変化を先取りし、技術選択、事業計画、規制対応を戦略的に進めることが競争優位の源泉となるでしょう。特に、カーボンニュートラルとサーキュラーエコノミーの両立を図る統合的アプローチの確立が、両分野共通の最重要課題となります。
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PFAS に関する今後の対応の方向性
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<step>1</step>
<url>about:blank</url>
<title>Starting agent e499...</title>
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下水処理場の図解・解説
#### 活性汚泥法の概要と日本の下水処理の現状
活性汚泥法は、1910年代に開発された、下水中の有機物を効率的に処理するための主要な生物処理技術です。この方法では、高濃度の微生物(活性汚泥)を維持し、その活動によって下水中の有機物を分解します。微生物の活発な活動を支えるためには、十分な酸素の供給と、活性汚泥を循環させる返送が非常に重要となります。
日本全国には約2100の下水処理場が存在し、その処理規模は一日あたり数百万立方メートルから数百立方メートルまでと幅広く、実に千倍もの違いがあります。このうち、ここで説明する標準活性汚泥法を採用している処理場は約840箇所を占めています。残りの処理場も、基本的には微生物を用いた生物処理を原理としており、処理の根本は同じであると言えます[下水処理場の数の変化へ](bunpu.htm)。
#### 標準的な下水処理の工程フロー
下水処理場に流入した下水は、まずスクリーンで大きなゴミが除去された後、ポンプで最初沈殿池へと送られます。ここでは、沈殿しやすい固形物が取り除かれ、その後に生物反応槽へと進みます。生物反応槽では、返送された高濃度の活性汚泥が加えられ、微生物の働きによって下水中の有機物が吸着され、摂取、消化分解されます。
有機物の分解が終わると、処理水は最終沈殿池へと導かれます。この工程では、活性汚泥をゆっくりと沈殿させて、きれいになった上澄み水を分離します。沈殿した活性汚泥は、ポンプによって再び生物反応槽へと送り返され、微生物として繰り返し下水処理に貢献します。
下水処理の主要なフローは以下の工程で構成されています。
* 最初沈殿池[1最初沈殿池](psed.htm)
* 生物反応槽流入部[2生物反応槽流入部](ryuun.htm)
* 生物反応槽[3生物反応槽](aert.htm)
* 最終沈殿池[4最終沈殿池](fsedex.htm)
この一連のフローは以下の図で視覚的に理解できます。

処理場全体を俯瞰すると、その広大な規模と施設の配置がわかります[下水処理場を上空から見ると](fukan.htm)。また、活性汚泥が実際に沈降していく様子も確認できます[活性汚泥が沈む様子](chinnd1.htm)。
#### 発生汚泥の処理工程
下水処理の過程で、膨大な量の下水汚泥が発生します。一人あたり一日で約4kgもの泥が発生するとされていますが、その約99%は水分です。この多量の水分を含む下水汚泥から水分を除去し、安定化させるためには、いくつもの段階を踏む処理工程が必要不可欠です[汚泥の処理へ](../odeisho/odeisho1.htm)。
#### 下水の汚れの量と処理効果
人が一日あたりに排出する有機物(BOD)は、平均して約50gとされています。このうち、トイレからの排出が約18g、台所、風呂場、洗濯機などからの排出が約32gを占めると見積もられています。下水処理の過程を経ることで、この汚れは大幅に減少します。具体的には、最初沈殿池で約35gまで減少し、生物反応槽と最終沈殿池での処理を経て、最終的には約3g程度まで汚れの量が抑えられます。
また、下水処理によって発生する汚泥は、固形分で一日あたり約40g、そして水分を含んだ総量では約4kgにもなります。
[サイトマップ](http://www.mizumirai.net/sitema/)
高度処理ナレッジ集
... リン除去のAO法、窒素・リン同時除去のA2O法へと改造してきた。 (攪拌・循環). ・標準法の施設を利用し、嫌気槽、無酸素槽の撹拌には、曝気用エアーを使用した ...
生物も物理・化学も使う「高度処理法」の要点を整理【排水 ...
「嫌気無酸素好気法」は、「A2O(Anaerobic - Anoxic - Oxic)法」とも呼ばれ、窒素とリンの除去を目的とした排水処理方法です。反応タンクが嫌気槽と無酸素槽と好気槽 ...
🏷 半導体の工程別処理: フッ酸系(凝集沈殿+吸着)・CMP(膜ろ過)・TMAH/IPA(濃縮+生物分解)・有機高速嫌気
半導体製造工場の廃水処理 - Hitachihyoron
したイオン交躁処理法の処増フローシートの一例を図5にホ. す。廃水はまず清惟炭上さ‡に入I)ここで有機物を除去した後,. 塩酸. 原水. 原水槽. 30. 脱水機. ∩>. 0. 2. (こぎ) ...
半導体工場の排水中フッ素を凝集沈殿処理後に吸着剤で処理
半導体工場でフッ酸由来のフッ素を排水処理する必要があり、カルシウムによる凝集沈殿処理後に、吸着剤による高度処理を実施しました。 常に排水が出続けるため複数塔での ...
研磨排水処理システム | 製品情報
シリコンインゴットの外周研削、ウエハーの粗研磨、バックグラインダー、ダイサー、CMP などの工程から出る排水を処理するシステムです。セラミックフィルターを使用する ...
シリコン研磨排水処理システム
シリコンインゴットの外周研削、ウエハーの粗研磨・面取り、バックグラインダー、ダイサー、CMPなどの工程から出る研磨排水から水やシリコンを回収するシステムです。
ミヤマの半導体研磨工程の排水処理技術
半導体のバックグラインダー、ダイシング、CMP工程の排水をろ過処理するシステムです。 MF膜を使用することで、薬品を使用しませんのでランニングコストの低減に貢献します ...
セラミック膜を用いたCMP排水処理技術 - HUSCAP - 北海道大学
CMP排水の基本ろ過特性並びにシステム検討を行い,. 高 FLUXを維持でき,. 〈参考文献〉. ( 1 ) 土肥俊部,. (1998). ( 2 ) 安部直檎,大脇良文:CMP排水の ...
メチル基資化性メタン生成古細菌の活用による電子産業排水 ...
TMAHは生物分解の過程でメチル基が一つずつ外れて最終的にアンモニアに分解し、メチル基由来のメタノールからメタンが生成した。IPAは、アセトン、酢酸と水素が中間体 ...
希薄TMAH 排水の処理技術
したがって、希薄TMAH 排水の. 処理は、TMAH を分解、無害化する「分解工程」の前に排水. 中のTMAH を濃縮する「濃縮工程」が必要となる。 半導体・液晶工場の含TMAH 排水は ...
23360235 研究成果報告書 - KAKEN
下水処理場の嫌気性消化汚泥を植種源としてTMAHならびにIPAをそれ. ぞれメタンガスに分解できる汚泥を集積し、これらの生物分解経路を調べた。TMAHは生物分解の過程で ...
半導体工場における有機廃液の削減事例
DMSO系微生物リアクターは1.4倍,TMAH系微生 物リアクターは1.5倍処理能力が向上した。 このような微生物リアクターの能力向上に伴い, 従来産業廃棄物処理していた有機廃液 ...
ニュースリリース「有機系排水向け流動担体型高速嫌気処理 ...
学工場、半導体・液晶工場、下水等の多岐にわたる排水の処理に向けて積極的な提案、適用を進. めてまいります。 なお、流動担体型高速嫌気処理装置の ...
電子エ業向けの排水回収システム事例の紹介
フッ素,窒素等の無機薬品排水や,難分解性の有機排水が. 排出される等の特性がある ... による有機物の分解との相乗効果により,有機物の分子間. 結合を切断し有機酸 ...
オルガノ株式会社 個人投資家さま向け会社説明会資料
比較的利益率の高いソリューション・. 機能商品の伸長に加え、プラント部門の. 受注採算性改善やコストダウンが奏功。 ... エコクリスタ. フッ酸排水.
オルガノグループは、 水で培った先端技術を駆使して
例えば、開発製品であるエコクリスタは、半導体の製造. 工程排水に含まれるフッ素を回収し、フッ酸原料に再利用する. サーキュラーエコノミー(循環型 ...
有価物回収システム | オルガノ株式会社
#### 有価物回収システム | オルガノ株式会社
オルガノ株式会社は、工場から排出されるフッ酸、TMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)、レアメタルといった有価物を効率的に分離・精製し、回収するシステムを提供しています。これは、排水処理の過程で貴重な資源を再利用し、環境負荷を低減することを目指すものです。
#### 主要な有価物回収技術と製品群
同社の有価物回収システムの中でも特に注目されるのが、以下の製品群です。
* **晶析技術によるフッ素回収装置「エコクリスタ」**
* この装置は晶析技術を用いて、使用済みの廃フッ酸から合成蛍石を製造し、資源として再利用することを可能にします。これにより、半導体製造プロセスなどで発生する廃フッ酸の処理と再資源化に貢献します。
* その実績は高く評価されており、(社)日本産業機械工業会の第28回優秀環境装置において「経済産業大臣賞」を受賞しています。
* **イオン交換樹脂利用技術**
* イオン交換樹脂を活用することで、廃液中に含まれるレアメタルを効率的に回収したり、廃液自体を再利用したりする技術を提供しています。
* **半導体洗浄薬品の回収技術**
* オルガノ独自の高純度化技術を応用し、半導体の製造工程で使用される洗浄薬品を回収し、再利用することを可能にします。
これらの技術は、特に半導体製造工場で発生する特殊な廃液から、フッ素やレアメタル、洗浄薬品といった有価物を回収することで、資源の有効活用と環境保全に貢献しています。
🏷 下水道の工程別処理: 初沈・活性汚泥・A2Oでの窒素/リン除去・高度処理・汚泥消化ガスとリン回収
第2章 技術の概要と評価
... 窒素ならびにりん除去を目的とする水処理法であり、都市. 下水を主対象とする下水処理場において、原則として既設水処理施設の高度処理化(既設が. 有機物処理を行う標準 ...
下水汚泥のエネルギー利用
汚泥の有機物を微生物により分解し発生したメタンを主とする消化ガスを発電用燃料等として利用しています。また自動車の燃料や都市ガスとして供給しています。さらに、下水 ...
消化ガス発電事業について - 東京都下水道局
消化ガス発電とは、バイオマス資源である下水汚泥から発生する消化ガスを有効活用し、発電による電力及び汚泥消化槽の加温用温水を確保するものです。(右図)
下水汚泥処理における消化ガス発電の現状と動向
例えば、消化ガス発電の導入に. より、処理場の消費電力量の約. 30%を賄うことが可能であると言. われております。 ここでは、下水汚泥の有効活用策. のひとつとして注目 ...
資料3 下水道が有するポテンシャルと現状の取り組みについて
でバイオガス発電した場合:約4億kWh. 下水汚泥の持つエネルギーポテンシャル. 創エネポテンシャル※1. ※1: 消化率(50%)、消化ガスの有効利用率(90%)、消化 ...
消化ガス発電システムの導入等
▫ 生ごみ等の地域バイオマスを、必要な前処理(破砕、選別、調質等)を行ったうえで下水汚泥と混合して消化設備に投入. する。消化設備から発生する消化ガスを焼却施設の補助 ...
下水汚泥からのリン回収プロセスの開発
萩野隆生 著 · 2005 · 被引用数: 15 — ②返流水 MAP 方式の主なコストは. 薬品コストであり,薬品を使用しない本システムはコス. ト的に非常に有利であると判断できる。 5.結 言. 本研究では下水汚泥からのリン ...
下水道におけるリン資源化の手引き
本手引きは,現在,実用化が可能と思われる4つの技術,すなわち嫌気性消化脱離液や下水の. 高度処理に適用されているHAP法とMAP法の技術,ならびに下水汚泥 ...
第2回下水道における リン資源化検討会
現在実用化可能なリン回収技術として,. ①HAP法,②MAP法,③灰アルカリ ... ただし,大量生産しなければ設備投資にコスト高となり,. 下水汚泥からの回収量では ...
🏷 新興課題と先端対策: PFAS除去(GAC/IX/RO/AOP)とAI/IoT最適運転、B-DASH実証動向
⾼PFAS含有排⽔の 処理・分解・無害化・計測 技術の開発
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下水道革新的技術実証事業
B-DASHプロジェクトとは 国土交通省では、新技術の研究開発及び実用化を加速することにより、下水道事業における低炭素・循環型社会の構築やライフサイクルコスト縮減、 ...
下水道革新的技術の実証テーマ等を募集します
国土交通省では平成23年度からB-DASHプロジェクトを実施しています。本プロジェクトでは、下水汚泥のエネルギー利用、下水熱利用、浸水対策、管渠マネジメント等に ...
新技術について
*(単なる「除去率」ではなく、)原水中のPFASの種類や時間経過による「除去性. 能(除去率など)や処理水のPFAS濃度」の変化は? *「粒状活性炭やイオン交換樹脂」の交換時期は ...
環境研究総合推進費 終了研究成果報告書
#### 環境研究総合推進費 終了研究成果報告書の概要
本報告書は、残留性有機汚染物質(POPs)とその候補物質(ポリ塩化ナフタレン(PCNs)、有機フッ素化合物(PFASs)、ヘキサクロロブタジエン(HCBD)、ヘキサブロモシクロドデカン(HBCD)、ジコホル)が最終処分場から浸出する実態の把握、適切な分析法の開発、長期的な溶出予測手法の構築を目的とした研究成果をまとめたものです。研究は、地方独立行政法人 大阪府立環境農林水産総合研究所を研究代表機関とし、公益財団法人 ひょうご環境創造協会、公立大学法人 大阪市立大学、国立研究開発法人 国立環境研究所が分担機関として参画し、令和元年度から令和3年度にかけて実施されました。
#### 分析法開発と実態把握
本研究では、河川水と比較して有機物濃度、塩分濃度、pHが高い最終処分場の浸出水に対応できるPOPs等の分析法を構築しました。
* **PCNsの分析法**: ダイオキシン類分析の公定法(JIS K 0312)の改良により、ダイオキシン類とPCNs(全75異性体)の同時測定が可能な高分解能ガスクロマトグラフ質量分析計(GC-HRMS)を用いた汎用性の高い分析法を確立しました。
* **PFASsの分析法**: 高有機物濃度の浸出水でもPFOA・PFOSの定量下限値5 ng/Lを達成できるよう、メタノール洗浄の追加や固相抽出カートリッジ(Oasis WAX for PFAS analysisなど)の比較検討を行い、液体クロマトグラフ質量分析計(LC-MS/MS)による分析法を確立しました。特に短鎖PFASsの回収率向上に課題があるものの、活性炭カラムによるクリーンアップで改善が見られました。前駆物質であるテロマー類(FT-OHs)やスルホンアミド類(FOSA、FOSE)、GenXの分析法も確立し、一部試料からの検出を確認しています。
* **HCBD、ジコホル、HBCDの分析法**: HCBDについてはパージアンドトラップ-ガスクロマトグラフ質量分析(P&T-GC/MS)法による1,4-ジオキサン、VOCとの同時分析法を、ジコホルについてはGCライナーにガラスウールを使用しないGC-MS/MS法を、HBCDについてはジクロロメタンによる液液抽出とLC-MS/MSを組み合わせた分析法をそれぞれ構築しました。
#### POPsの濃度実態と浸出水処理過程での除去
全国の産業廃棄物および一般廃棄物管理型埋立処分場19埋立区画からの浸出水においてPOPs等の濃度実態が調査されました。
* **PCNsの濃度実態**: DiCNs-OcCN(2~8塩素化PCNs)濃度は8.0〜12,000 pg/Lの範囲で検出され、MoCNs-PeCNs(1~5塩素化PCNs)が主に検出されました。産業廃棄物処分場浸出水の方が一般廃棄物処分場よりも約10倍高濃度で、製品由来の異性体の割合が高い傾向が見られました。PCNs濃度と濁度、TOC、DOC、COD、TNの間には正の相関が認められましたが、埋立開始年代との明確な関係は見られませんでした。木くずを含有する処分場で濃度が高い傾向が見られました。
* **PFASsの濃度実態**: PFCAsおよびPFSAsの濃度は、産業廃棄物処分場で30~27000 ng/L、一般廃棄物処分場で3.0~280 ng/Lと、産業廃棄物処分場の方が高濃度でした。日本の浸出水中のPFOA、PFOS、PFHxS濃度は海外の処分場と比較して一桁低い値であり、これは埋立前に行われる焼却処理が高温下で多くのPFASsを分解しているためと推察されています。埋立開始年代とPFOA、PFOS、PFHxS濃度の変遷には、規制による製造・使用の変化が反映されている可能性が示唆されました。
* **浸出水処理施設における除去**:
* **PCNs**: 凝集沈殿処理でDiCNs、TrCNs、TeCNs、PeCNsの平均除去率はそれぞれ47%、67%、87%、80%と効果的に除去されました。活性炭吸着処理では高い除去率が得られ、PCNsはMDL以下またはMDL近傍まで減少しました。
* **PFASs**: 凝集処理と生物処理(活性汚泥処理)での除去率はPFASsの種類によって-10%~87%と幅があり、除去効率は低い傾向でした。一方、活性炭吸着処理では、PFHxA、PFHpA、PFOA、PFNA、PFBS、PFOSが90%以上の高い除去率で効果的に除去されました。RO膜処理では短鎖(C4-C9)PFCAsとPFSAsの平均除去率は99%以上でした。しかし、これらの処理で捕捉されたPFASsは、分解されなければ廃棄物として最終処分場に戻る可能性があるため、分解できる処理工程の実証が不可欠と指摘されています。
#### 溶出挙動の解明と長期予測シミュレーション
* **PCNsの溶出挙動と吸着特性**: 国内の焼却残渣34種類における全PCNs含有量は48~1,800,000 pg/gと幅広く、低塩素化物が主流でした。ダイオキシン対策の加熱脱塩素化処理がPCNsのリスク低減にも有効であることが確認されました。拡散チューブ試験により、焼却飛灰中のPCNsの有効拡散係数は最大でも2.3×10⁻¹³~2.9×10⁻¹³ m²/sと推定され、溶出挙動は拡散よりも移流の影響が大きいことが示唆されました。バッチ試験ではフミン酸がPCNsの溶出促進因子の一つであることを確認し、カラム実験にフミン酸溶液を溶媒として採用した結果、フミン酸の存在が高塩素化物の溶出を促進することが示されました。PCNsの累積溶出率は非常に低く(含有量の0.004~0.007%程度)、長期間にわたる溶出継続の可能性が示唆されました。
* **PFASsの吸着特性と挙動に及ぼす微生物反応**: 文献調査から、PFASsの排出挙動は固相の有機炭素含有量に加え、炭素鎖長に大きく影響を受けると推測されました。PCNsの固相(カオリン、真砂土、赤土)に対する分配係数(log Kd)は、塩素数が増加するにつれて高くなる傾向が見られ、有機炭素含有量が高いほど分配係数が高くなりました。微生物分解によるPFOAやPFOSの生成経路も整理されており、最終処分場条件下での微生物反応がPFASsの挙動に影響を及ぼす可能性が指摘されています。
* **数値シミュレーションによる長期挙動予測**: PFASsについては、1次元移流分散解析により、炭素鎖数による挙動の違いが示されました。短鎖PFCAs(PFBA(C4), PFHxS(C6))は比較的早く浸出水に排出される一方、長鎖PFCAs(PFDA(C10))は処分場内に留まる可能性が示唆されました。PCNsについては、カラム溶出試験結果を用いた覆蓋型一般廃棄物最終処分場のシミュレーションにより、保護土や中間覆土の吸着性能が将来的なPCNs排出に影響することが分かりました。特に、塩素数の小さいMoCNsやDiCNsは、処分場廃止後も長期にわたり系外へ排出される可能性があることが示唆されました。
#### 環境政策等への貢献
本研究成果は、環境省の令和3年度POPs廃棄物の検定方法等策定業務において、PFOA、PFOS、PFHxSの分析法構築に関する知見が分析法ガイドラインの作成に活用されました。また、PFOA、PFOS含有廃棄物の処理に関する技術的留意事項の策定においても貢献が見込まれています。これにより、最終処分場の長期的な適正管理に資する分析法や挙動予測に関する知見が提供されました。
水道における PFAS の処理技術等に関する資料集
いて、PFOS や PFOA など数種類の PFAS の最大除去率が 90%以上であったことを. 示しつつも、その除去率は粉末活性炭の投与量、粒子径、接触時間等の要因 ...
「PFOS 等の濃度低減のための対策技術の実証事業」の公募 ...
近年、水環境中で 50ng/L を超過した地域等において、高濃度の PFOS 及び PFOA を. 含む土壌・排水・地下水等が確認されており、国内外で様々な PFOS 等の ...
静岡市のPFAS※1への対応
ポンプ場排水を用いた実証実験の結果、 最大96%を超えるPFAS濃度低減が確認されました。 2025年3月まで、除去率向上 に向けた検証を継続する予定です。
AIを活用した下水処理場 水処理運転操作の取組状況
国内において、下水道水処理施設を対象としたAI活用の実証研究として以下の5つの実証事例が挙げられる。 過去のデータで学習し、送風量などのガイダンスを表示することは ...
水分野でのAI活用 運転履歴データを価値に変えた事例
近年,新たな進展が見られるAI(Artificial Intelligence:. 人工知能)技術は,水処理システムへの適用にも有効と期. 待されており,本稿ではその取り組みについて紹介する。 2.
IoTとセンサーで水処理を自動化することで省力化できた – 相談事例 ...
Failed to extract contents from https://kcr.kurita.co.jp/solutions/consultation/035.html. Scraping and AI access may not be possible, and insufficient information was obtained for summarization, so browser operation is required for viewing.
🏷 工程ベース比較と導入指針: 適用条件・回収価値・水再利用・コスト/運用性の要点
環境基本方針/環境マネジメント体制/環境教育
半導体製造工場などで用いられたフッ酸(フッ化水素酸)は、これまで排水 ... テムや、都市下水などの低濃度有機物含有排水処理技術を独自に開発しており、環境 ...
CSR REPORT 2019
最近では高効率な生物処理を可能とするグラニュール技術を利用した、工場から排出される窒素含有排水の高速処理シス. テムや、都市下水などの低濃度有機物含有排水処理 ...
CSR REPORT 2018
本事業では、東芝四日市工場で半導体のエッチング剤として. 使用されたフッ酸廃液から当社のエコクリスタにより回収した. 高純度な人工蛍石を、旭硝子千葉工場が有価物 ...
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水処理装置【導入事例】半導体製造プロセス | 伸栄化学産業
【事例概要】 □背景 ・ダイシング工程からの排水リサイクル実現を目標に掲げている□解決方法 ・ダイシング工程から排出される切削屑をMF膜で処理 ・回収水は ...
水処理装置 | 東洋紡エンジニアリング株式会社
水資源の問題を解決する
... 排水からの水回収策を2件提案しまし. た。一つは、排水処理フローを変更して既存の排水槽を固液分離槽として利用することで排水を回収・再利用するものです。こ. れ ...
半導体 ・液晶工場における排水回収再利用技術
S KIRYU 著 · 1995 · 被引用数: 2 — 排水処理技術は処理後の排水は放流することを. 前提にしているため,処 理に伴い塩濃度を増加を. させ る方法が多い。一一方,水 回収を考えた場合で. は他の物質を増す方法 ...
電子・半導体工場での効果的な排水処理の方法│対応メーカー ...
実際に電子・半導体工場の排水処理の事例を紹介します。事例から、電子・半導体工場がどのような形で排水処理を行っているのか知ることができるだけでなく、実際に自社 ...
一度利用した超純水の回収・再利用方法
超純水の排水回収方法には、大きく分けて以下の2つの方法があります。 (1)排水をその水質によって、それぞれ分別回収する. (2)有機排水・無機排水をそれぞれ処理した後に、 ...
半導体製造プロセスを効率化『ダイシング工程からの排水回収 ...
排水処理|セムコーポレーション
ph計など排水処理における各種制御装置|セムコーポレーション
排水プラント|排水処理技術|環境装置事業|事業紹介|総合環境企業 ...
排水処理方法の種類について / 汚泥乾燥 | KENKI DRYER
フッ素化合物を含む排水処理 - 環境Q&A
ふっ素イオンの含有量の多い排水では、石灰による2段沈澱処理が有効です。2段処理すれば、ふっ素イオンは5mg/L以下になるはずです。また、ふっ素処理剤を入れて沈澱処理 ...
フッ素を含んだ排水処理の方法
フッ素を処理する方法として、最も一般的なものにフッ化カルシウム法があります。フッ素含有排水に消石灰、塩化カルシウムなどのカルシウム化合物を添加して、フッ化 ...
PFASを含む排水の処理方法と対策技術ー現場で使える実例も ...
PFAS(有機フッ素化合物)は分解されにくく、排水処理が困難な物質です。活性炭吸着、膜処理、イオン交換、熱分解などが有効とされます。
汚泥循環法による排水中のふっ素除去技術
今回,汚泥循環法を適用することによって、 アルミ蒸凝集剤を使. 用せずに、汚泥の資源化が可能な鉄系凝集剤を使用して排水中のふ. 素を基準値以下まで除去できるプロセスを ...
フッ素排水処理システム: 工場建設(環境設備)
従来のカルシウム凝集処理にフッ素を高度に不溶化させる「不溶化剤F」を追加するだけで、排水基準(8 mg/L)以下まで確実に処理する方法です。 ハイエフN法の特長. 一次処理 ...
JP2005125153A - フッ素含有排水の処理方法及び処理装置
フッ素含有排水の処理を二段に分け、フッ素濃度の高いフッ素含有排水をカルシウム化合物で処理してフッ素をフッ化カルシウムとして除去した一次処理水をアルミニウム系凝集 ...
工場排水中のふっ素の除去
ほうふっ化. 物イオンをほう素とふっ素に分解し,マグネシウムイオンを. 添加することでふっ素を除去することができれば,ほう素と. ふっ素を同時に処理することが可能となる ...
IoTで排水中のフッ素処理コスト削減、管理負担軽減 – 相談事例 ...
フッ素除去 | 産業排水の処理や水プラントの設計なら水処理技術開発 ...
フッ酸回収技術」 – 最新トピックス
東京ガスグループ独自の水処理技術による工場向け排水処理 ...
JP3518445B2 - Cmp排水の処理装置
【0035】 【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のCMP排水の処理装置によれば、CMP排水を長期に亘り効率的に処理して、SS、H 2O 2、TOC等が高度に除去され、超純水製造 ...
排水システム|レイ株式会社(公式ホームページ)
汚濁物の沈殿分離などの単純なものから化学物質の除去などの高度なものまで、さまざまな装置を組み合わせた排水処理プラントの計画・建設を行います。
JP2008000750A - Cmp工程排水処理装置
酸性乃至中性研磨液を用いるCMP(ケミカルメカニカルポリッシング)工程排水を主として含む排水を前処理する活性炭処理装置、および、得られる前処理水を膜分離処理して濃縮 ...
CMP排水の処理装置 | 特許情報
要約:. 【要約】【課題】 研磨粒子や研磨屑などのSS及びH 2 O 2 と、更には有機成分をも含むCMP排水を効率的に処理することができ、長期連続運転が可能なCMP排水の処理装置 ...
半導体製造CMP工程後の洗浄技術
CMP室で処理されたウェーハはCMP室とク. リーンルーム間、もしくは通路の間の保管室にシャワーを設け. てウェットな状態をキープし、特殊な容器でクリーンルーム内に. 運ん ...
CMP工程やバックグラインド工程の研磨廃液処理産廃コストを低減 | 研磨 ...
薬品工場における排水処理で活躍する各種ユニット製品のご案内|セム ...
小型中和装置処理パネルフロー図|セムコーポレーション
水酸化テトラメチルアンモニウム含有廃水の処理方法
好ましいアエロモナス属に属する細菌は、TMAHを菌体乾燥重量あたり5g/g(菌体)/日以上で分解する分解能を有する細菌である。かかる分解菌としては、例えば、アエロモナス ...
研究成果報告書
電子産業から排水されるTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム、C4H13ON)、あるいはMEA(モノエ. タノールアミン、C2H7ON)の嫌気性処理に関する知見は存在するものの1)、 ...
JPH10216776A - 有機性排水の生物処理方法
... 排出されている。TMAHやIPAは生物分解が可能であるため、一般に、これらの有機性排水は活性汚泥処理で代表される好気性生物処理で処理されている。 【0003】しかし、TMAH ...
液晶工場排水中の難分解性有機物に対する生物処理の検討
らの洗浄剤が含有する高濃度排水の処理が必要となってきた。また、新たに水酸化テトラメチルアンモニウム. (TMAH)、ジエチルヒドロキシルアミン、N-メチル-2 ...
電子産業廃水の 省エネ・無害化処理を 可能にする新規メタン ...
第四級アンモニウム塩の水酸化テトラメチルアンモニウム (TMAH) を分解可能なメタン生成菌を活用し、嫌気処理の 早期立ち上げと安定的なTMAH分解を可能に ...
TMAH 回収事例|蒸発濃縮装置事例一覧|株式会社ササクラ
JP2006095363A - 有機性窒素化合物を含有する排水の処理装置 - Google ...
水酸化テトラメチルアンモニウム市場規模、シェア |世界的な予測 [2025 ...
適切排水処理システムの実用的な展開に関する研究
排水処理に広がる嫌気性膜分離技術|循環・廃棄物の基礎講座|環環 ...
1, 4‑ジオキサン含有排水の生物学的処理技術
プロセス分析計による現像液中の水酸化テトラメチルアン モニウム(TMAH ...
Untitled
電子産業
超純水製造技術で培ったクリーン化技術を活かし、半導体や液晶の洗浄にも適用できる機能水製造装置を開発しています。 半導体や液晶洗浄プロセスで強力な洗浄力の向上と ...
幅広い分野で使われるMF膜 – 水処理教室
解説 さまざまな膜ろ過のうちMF膜は、ろ過装置に直接水を通してろ過するスクリーン方式として使用されています。 この場合、ろ過を続けていくと膜面に濁質粒子がたまって ...
CaF2を効率的に回収する装置 – 水処理教室
半導体工場では、製造工程でフッ素化合物を含む溶液が多く使用されています。 この排水を処理する時に大量の汚泥が排出されています。 その汚泥を削減すると同時に、フッ ...
逆浸透現象を利用したRO膜 – 水処理教室
逆浸透現象を水処理に応用した逆浸透膜がRO膜[逆浸透膜]です。 海水を真水にする以外に、超純水製造システムなどにも利用されています。 KCRセンター池上 ...
リンを含んだ排水の処理法(1)-凝集沈殿法
リンの凝集処理法には、硫酸バンドやPAC(ポリ塩化アルミニウム)などのアルミ塩、あるいは塩化第二鉄などの鉄塩と反応させ金属塩として沈殿させる方法と、消石灰や塩化 ...
超純水をつくるための殺菌処理
「超純水をつくるための殺菌処理」についてお話いたします。菌は水中や大気中のあらゆるところに存在し、一度殺菌しても栄養となる有機物があると増殖します。
超純水製造装置のしくみ – 水処理教室 | 【栗田工業】製品・サービス ...
パイロット事業事例集
... 処理後に、さらにオゾンおよび過酸化水素を用いた促進酸化. 処理(AOP)を行ったところ、TOC は約 44%除去されたが、生物影響は処理前より増加した。AOP. により難分解性 ...
産業排水における新しい排水処理・回収技術
半導体工場特有の排水として、 エッチングな. どに使用されるフッ酸やフッ化アンモニウムな. どのフッ酸排水がある。 通常、 フッ素イオンは、. カルシウムと不溶性のフッ ...
ファインバブルを用いた洗浄・水処理技術
秦隆志 著 · 2017 · 被引用数: 4 — 代謝から有機物や栄養塩類等の汚濁物質を分解処理するもの. である。この ... 難分解性有. 機物の効率的な分解が見込まれるが,散気管を用いたオゾン. ガスの ...
水中難分解性物質の低環境負荷処理に挑戦する 放電 ...
従来のOHラジカル. を用いた難分解性有機物分解技術としてはもちろんのこ. と,環境残留性や生体内蓄積性の高さや毒性から,その. 対処が喫緊の課題となって ...
有機半導体材料の不純物評価
... 分解技術 ... 我々は難分解性の有機半導体材料につ. いて,少量の試料で多種類の元素を高感度. に評価するための新たな手法を開発した。 本開発法は密閉容器内で分解処理を行 ...
C10G-0193 半導体製造プロセスにおける評価事例と関連機器
水銀フリーのエキシマランプを酸化部に使用. し、難分解性有機物を確実に検出し再現性よく高感度に超純水・. 純水の高感度TOC測定を実現できます。 純水用オンラインTOC ...
除菌・浄化”水処理装置
持つ活性ラジカル種を発生させ、単独の水処理技術では分解が困難な「難分解性有機物」 などを効率よく分解除去する方法です。 【1,4-ジオキサン分解における酸化処理 ...
パイロット事業事例集
処理(AOP)を行ったところ、TOC は約 44%除去されたが、生物影響は処理前より増加した。AOP. 1005. により難分解性有機物が低分子化したことで影響が増加したと考え ...
下水の処理方法 - 福島県ホームページ
下水処理のしくみ - 宮崎市 [Miyazaki City]
標準活性汚泥法について / 汚泥乾燥 | KENKI DRYER
下水処理の解説 - 東京都下水道局
反応槽では、下水と微生物の入った汚泥(活性汚泥)に空気を送り込み、6~8時間ほどかき混ぜます。下水中の汚れを微生物が分解し、細かい汚れは微生物に付着 ...
下水処理方法決定までのフロー
評価を行って計画放流水質の区分を決定する. ・ 評価方法は運用通知と企画専門官事務連絡に規定された区. 分(評価1~評価5)による. ・ 実績のない処理方法の評価は評価5 ...
下水処理のしくみ - 横浜市
家庭や工場で排出された下水は、下水管を通って、水再生センターまで運ばれていきます。大量に集められた下水は水再生センターで物理的処理、生物的 ...
下水処理とは?下水の種類と下水処理の基本プロセス
まず予備処理で、大型のゴミや砂利などを取り除き、次に一次処理で沈殿によって浮遊物質を除去します。 続いて二次処理で、微生物を用いて有機物を分解し ...
「下水道のしくみ」を紹介します - 宮崎県都城市ホームページ
家庭から排出された汚水は、下水管を通って下水処理場へ流れていきます。 処理場へ流入した汚水は、まず初めに『沈砂池』で大きなごみや砂などを沈めて、 ...
水処理のしくみ(標準活性汚泥法)
下水管を通って処理場に流れこんだ下水は、沈砂池で流れをゆるやかにし、砂や大きなごみを取り除きます。次にポンプでくみ上げ、最初沈殿池に送ります。
下水処理の仕組み - 防府市公式ホームページ
沈砂池、ポンプ室下水管から流入してきた下水をゆるやかに流して、土砂やゴミを取り除きます。 · 最初沈殿池沈砂池から送られてきた下水を、この池でゆっくりと流します。
下水道のしくみ - 宮城県公式ウェブサイト
岩手県 - 下水道のしくみと効果
下水道のしくみ - 長崎市ウェブサイト(下水道施設課)
処理場の仕組みについて | 静岡県富士市
下水の高度処理 - 横浜市
A2O法は、窒素とりんの同時除去を目的とした方式で、反応タンクは嫌気槽・無酸素槽・好気槽の3つに分かれます。無酸素槽にはかくはん機が設置されている ...
下水処理場における高度処理について - 船橋市
高瀬下水処理場では、嫌気無酸素好気法(A2O法)という高度処理の方法を採用しています。 ... (1)反応槽での窒素の除去について. 下水中の窒素の殆ど ...
A2/O法(Anaerobic Anoxic Oxic法、嫌気・無酸素・好気法)
A2/O法は、廃水処理において有機物と栄養塩(特に窒素とリン)を効果的に除去するためのプロセスです。この方法は、都市下水や産業廃水の処理に広く採用されており、高い ...
高度処理とは - 愛知県
嫌気無酸素好気法(A2O法). 除去 ... 生物反応槽を3つに分け、それぞれを異なる状態に保つことで、活性汚泥の働きにより生物学的に窒素、りんともに除去するものです。
高度処理 A2O 変法による窒素除去の向上 - 横浜市
出と吸収が認められ、りん除去には各セルが完全に仕切られているほうが有利である可能性が示された。 4.A2O 変法による窒素除去の向上と、りん除去向上. に与える影響 ...
A2O法施設における管理状況および課題について
(1)窒素除去率は硝化液循環率によるが、 高循環率にすると除去効率が低下し処理コストが上がる。しか. もSVIの上昇などの問題も考えると、目標水質とコストをよく勘案して ...
総量規制水域における窒素除去管理のための 硝化抑制運転が ...
・高度処理法の導入により水質環境が改善された. ・高度処理法導入により、処理エネルギー(曝気、循環など)が増加. ・海域に流入する栄養塩類が減少し ...
嫌気無酸素好気法(AO2法)について / 汚泥乾燥, リサイクル乾燥 ...
福岡市 高度処理
下水の高度処理の高い技術力 The high technical ability of advanced ...
岩尾磁器工業株式会社:AO,A2Oシステム
汚水処理施設・A2O+MBR | 山口県下関市の汚泥処理・下水道処理・可溶化 ...
消化ガス発電設備の導入状況について - 新潟県ホームページ
消化ガス発電の仕組みと効果 - 宇都宮市
消化ガス発電施設では、下水汚泥の処理過程で発生する消化ガス中のメタンガスから改質器により水素を発生させ、燃料電池に供給し、空気中の酸素と電気化 ...
FITを活用した消化ガス発電事業|水環境事業
民間の資金とノウハウを活用した民設民営方式による下水処理場での消化ガス発電事業を行っています。 本事業は、月島JFEアクアソリューションが自己資金で発電設備を ...
下水処理場消化ガス発電プロジェクト
この計画に基づき、消化ガスの有効利用を進めるべく消化ガス発電設備を導入し、CO2削減及び下水道センターの経費削減に貢献する、というのがこのプロジェクトの概要です」 ...
大阪市下水処理場消化ガス発電事業(FIT制度活用)
その過程で発生する消化ガス(バイオガス)については、有益な再生可能エネルギーであることから、消化槽の加温やガス発電により有効利用しております。 大阪市では、平成19 ...
消化ガス発電システム:再生可能エネルギーシステム:上下水道 ...
消化ガス有効利用事業の紹介
月島ジェイテクノメンテサービス株式会社 | 事業内容 | 消化ガス発電
下水道資源を有効活用しています - 埼玉県
エネルギーの有効利用 豊中市
大阪ガス:「大阪市下水処理場消化ガス発電事業」の開始について ~4MW ...
令和6年度 B-DASHプロジェクト実証技術の概要等について
実規模実証の概要> 【下水汚泥の肥料利用促進に向けた資源回収技術】 [1]余剰汚泥からの高効率MAP回収システムに関する実証事業 <FS調査の概要>
令和5年度 B-DASHプロジェクト実証技術の概要等について
実規模実証の概要> 【発酵熱を利用した効率的なコンポスト化技術】 [1]縦型密閉発酵槽による下水汚泥の肥料化技術に関する実証事業 【汚泥付加価値向上のための超高温 ...
令和6年度B-DASHプロジェクトの公募資料及び応募様式電子 ...
【実規模実証】. [1], 下水汚泥資源の肥料利用促進に向けたりん資源回収等技術, 公募資料 · 応募様式. 【FS調査】. [1], 下水汚泥資源の肥料利用につながる技術 ...
下水道事業における広域化・官民連携・革新的技術(B-DASH ...
目的) ○下水道事業の持続性確保に向け、事業運営効率化を図るための有効な手段となる取組等について、各地方公共団体において実践することを推進するため下水道 ...
B-DASHプロジェクト技術の活用について
○下水道における革新的な技術について、国が主体となって、実規模レベルの施設を設置して技術的な検証を. 行い、ガイドラインを作成し、全国展開を図る。 ○平成29年度まで ...
令和4年度 B-DASHプロジェクト実証技術の概要等について
実規模実証の概要> 【最初沈澱池におけるエネルギー回収技術】 [1]高効率最初沈澱池による下水エネルギー回収技術に関する実証事業 PDF形式
令和3年度 B-DASHプロジェクト実証技術の概要等について
実規模実証の概要> 【発酵熱を利用した効率的なコンポスト化技術】 [1]縦型密閉発酵槽による下水汚泥の肥料化技術に関する実証事業 【汚泥付加価値向上のための超高温 ...
平成30年度 B-DASHプロジェクト実証技術の概要等について
実規模実証の概要> 【ICT活用型下水道施設管理技術】 [1]クラウドを活用し維持管理を起点とした継続的なストックマネジメント実現システムの実用化に関する実証 ...
下水道事業における革新的 技術(B-DASH)の事例紹介
報道発表資料:B-DASHプロジェクトの来年度実証技術について公募を開始 ...
B-DASHプロジェクト技術の活用について
下水道革新的技術実証事業 (B-DASHプロジェクト* ) の概要
下水道革新的技術の実証テーマ等 募集要領
国土技術政策総合研究所資料
従来法として、資源化可能な形態でリンを回収可能な返流水リン負荷削減技術としては、脱水ろ. 液から MAP としてリンを除去回収するろ液 MAP 法がある。しかし、従来法 ...
下水汚泥の分離処理システムに よるリン回収の取組み
... 汚泥からは MAP 法,HAP 法,灰アルカリ抽出法など. が一部で実施されている。しかしながら,これらのリン回収技術はコスト,操作性,回収率,製品化へ. の品質要求等の ...
汚泥再生処理センターの資源化設備としてリン回収設備の提案
「MAP法によるリン回収資源化技術」は、汚. 泥再生処理センターを対象としてリンを多量に. 含むし尿と浄化槽汚泥からのリンの回収を図る. とともに、回収したリンを質の ...
下水汚泥焼却灰からの新規リン回収システムの開発
下水汚泥焼却灰は、10%近いリン (P)を含み、膨大な量が日々排出されていることから、リン回収の. 絶好の対象となりうる。 下水汚泥焼却灰を対象とした場合、 実用化された ...
リンの高効率かつ高選択的な 分離回収技術
下水 (HAP法). 下水 (MAP法). リン含有化合物に、炭素添加 ⇒ 塩素 ... 住み続けられる街づくりを:リンのリサイクルは下水汚泥や食品廃棄物の資源化に.
下水および下水汚泥処理における リンの除去回収に関する研究 ...
鉄系無機凝集剤を用いた方法では,塩. 化第二鉄を用いた下水の前凝集沈殿汚泥からリンおよび凝集剤を回収するシステムが開発. Page 10. 第1章. 5. されている 59)~61).
第1章 総 則
【回収 MAP 量の算出式】. 回収 MAP 量(g/d)= {(T-P)in-(T-P)out}×原汚泥供給量×245/31. (11)ろ液 MAP 法. 脱水ろ液を処理対象とするリン除去回収法である。脱水ろ液 ...
下水再生リン回収事業及び肥料化の取組 横浜市
国交省 B‐DASHプロジェクト特集'24 | 環境新聞オンライン
リンを含んだ排水の処理法(2)-MAP法 – 水処理教室 | 【栗田工業 ...
リン回収装置「フォスニックス®」の用途拡大
下水汚泥資源の肥料利用拡大に向けて
大阪大学大学院工学研究科 生命先端工学専攻 大竹研究室
国交省 B-DASHプロジェクト 2023年度、22年度補正合わせ8技術を実証 ...
CC_ORGANO CSR REPORT 2017.indd
当社のエコクリスタは、晶析技術を応用し、排水中のフッ素を純度95%以上のフッ化カルシウム(人工蛍石)として. 回収する技術です。回収したフッ化カルシウムは、フッ酸の ...
オルガノ株式会社 - 2017年3⽉期決算説明会資料
フッ素回収システム「エコクリスタ」. オルガノグループが⽬指す姿<社会ニーズに応える>. さらなる発展に向けて. Page 58. 58. エネルギー分野・資源分野.
フッ酸廃液からの人工蛍石の 回収・リサイクル事業
①フッ酸含有廃液は、装置制御等により高濃度のまま回収、有価売却。 ②製品の微細化(高集積化・省資源化)による使用部材の削減。 ③製造プロセス合理化 ...
令和6年度 地球温暖化・資源循環対策等に 資する調査委託費
2050年カーボンニュートラル、脱炭素社会の実現に伴うエネルギーの生成から製品の製造. や使用・サービスまでの将来的な構造、バリューチェーン等の転換を踏まえること。
令和2年度リサイクルシステム統合強化による循環 資源利用 ...
鉛蓄電池の構造は比較的単純で使用. 材料も少ないため標準化しやすく、また回収ネットワークも築かれているので、低コ. ストで高収益な回収が可能である。
住友電工テクニカルレビュー
『住友電工テクニカルレビュー』は、住友電工グループの技術内容を解説した技術論文集です。 本ページでは、論文の内容をPDF 形式のファイルにより、掲載しております ...
戦略的イノベーション創造プログラム(SIP) マテリアル事業化 ...
先述の通り、本課題のミッションはマテリアル分野において GDP インパクトのあるマテリアルユ. ニコーンを次々に産む状態、そういったエコシステムを作り出すことにあり、 ...
自然と化学の役割
評価結果について | 環境研究総合推進費 | 環境研究・技術 情報総合サイト
フィルターと機能性粉体を用いた 処理法によるPFAS土壌・ ...
○ 土壌汚染浄化や工場排気のVOC処理、. 脱臭で使用. ○ トルエンの除去率 99%以上. ○ 写真はVOC土壌汚染原位置浄化プラント. Page 16. Copyright ©RYUKI Engineering ...
「PFASに関する今後の対応の方向性」 を踏まえた ...
PFOS、PFOAへの対応について. ①PFOS等の管理の強化に向けた対応について. ②暫定目標値等を超えてPFOS等が検出されている地域. 等における対応等について.
排水処理の技術選定と導入手順
PFAS対策はライフサイクル全体の把握が重要です。どこで使われ、誰が対策するべきかを. 考える必要があります。PFOS等はすでに規制されているものの、PFAS全体では ...
活性炭事業を通じた持続的成長に向けた取り組み
簡便性、そして高いPFAS除去効率という点で、他の技術. に対する優位性が示されています。 ただし、新炭の製造においては大量のCO2が発生する. デメリットもあります。
4.1 PFAS 対策の基本的方向性
... 除去率を確保. ⇒ 浄水場において沈殿池や急速ろ過池の洗浄、 粒状活性炭の入替や配水池の洗浄を実. 施等. 2024年、国土交通省では、水道水においてPFOS・PFOAの暫定目標値 ...
PFAS ハンドブック
2.9 持続可能な資源利用
PFASに関する今後の対応の方向性」 を踏まえた対応状況について
「AI最適運転」によるCO2排出量削減に関する環境省実証事業 ...
AI・IoT技術などを用いて、水処理プラントの設計・生産及び運転管理のスマート化(効率化・高度化)を推進しています。なお、同プロジェクトでは、本 ...
海外の下水道分野及び 国内の他分野におけるAIの活用事例
数日先の運転操作を予測し、オート. パイロットとして機能し、自動運転を可能とする結果を示した。 また予測運転制御により送風量を15%削減した。 Royal Haskoning DHV社( ...
DX・脱炭素化に向けた「水処理AI最適運転」の実プラント検証と ...
具体的には、RO膜装置の前処理に位置する各種装置もAI最適運転の対象とすることで、水処理プラント全体のスマート化(デジタル化・最適化)を実現します。
AIを活用した水道の運転支援技術 : 日立評論 - Hitachihyoron
AI技術の一つであるニューラルネットワーク(NN:Neural Network)は,データを基に自動的に熟練運転員の運転操作の傾向を高精度に抽出し,モデル化が可能で ...
「水処理AI最適運転」が環境省の脱炭素社会の実現に向けた ...
本件を推進するメタ・アクアプロジェクトでは、水処理プラント全体のスマート化(デジタル化・最適化)を目指し、RO膜以外の装置向けAI最適運転 ...
排水処理を遠隔監視で?必要とされる理由や用いられる画像 ...
実際に企業でもAIとIoTを活用した遠隔監視システムが導入されており、排水処理の効率化と安全性の向上を実現しています。 しかし、自社の排水処理施設に ...
「AI最適運転」によるCO2排出量削減に関する環境省実証事業 ...
具体的には、「AI最適運転」ソリューションの適用で、従来の人手による運転方式と比較して、運転コストの約4割とCO2排出量の約1割を削減することが可能 ...
沈殿槽内部の状態をAIが常時監視、安定運転を実現
沈殿槽内部の状況を常時監し、安定状態への運転調整につながるAI監視サービスを紹介します。省力化・廃棄物削減・コスト削減にも寄与するサービスです。
水処理AI最適運転」が環境省の脱炭素社会の実現に向けた実証事業に採択 ...
AI技術活用で下水処理場のさらなる省エネ化実現へ ~日本下水道事業団 ...
下水処理場運転操作へのAI導入に向けた環境整備 のあり方について ...
📊 ドメイン統計
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